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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子威廉希尔官方网站 (半导体制造威廉希尔官方网站 )基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站 制作的高科技电子机械器件。
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祥解MEMS的前世今生,商用化缓慢然而前景广阔 微机电系统(MEMS)在1954年由贝尔实验室的Charles Smith通过硅的压阻效应发明,在不到...
2008-10-24 标签:MEMS 714 0
从全局考虑MEMS集成 在将微电子机械系统(MEMS)集成进更大的电子系统时工程师必须进行全局考虑,但是目前工程师所面临的问题是:如何划分和封装系统?...
2008-09-22 标签:MEMS 492 1
制造商正在不断完善手持式装置,提供体积更小而功能更多的产品。但矛盾之处在于,随着威廉希尔官方网站 的改进,价格往往也会出现飙升,所以这就导致一个问题:制造商不得不...
2006-03-13 标签:MEMS 365 0
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