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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子威廉希尔官方网站 (半导体制造威廉希尔官方网站 )基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站 制作的高科技电子机械器件。
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MEMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的 MEMS 制造工艺。表面微加工中,采用低压化学气相淀积(LPCVD)这一类方法来获得作为结构...
2011-11-01 标签:MEMS 1.2万 0
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)威廉希尔官方网站 是建立在微米/纳米...
模拟半导体公司SiTime Corporation今天推出业界性能最强的差分振荡器,其频率稳定度达10PPM、相位抖动仅500飞秒(femtosecon...
研究报告称中国政府抑制经济增长和控制通胀的行动,将导致中国2011年MEMS购买活动放缓。 今年中国政府在经济政策方面变得更加谨慎。鉴于全球经济增长速度...
2011-10-24 标签:MEMS 816 0
半导体威廉希尔官方网站 在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期,而超越摩尔定律的新兴威廉希尔官方网站 却受到了众多公司的青睐,其中 MEMS 以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球...
ST采用硅通孔威廉希尔官方网站 实现尺寸更小且更智能的MEMS芯片
意法半导体率先将硅通孔威廉希尔官方网站 (TSV)引入MEMS芯片量产。在意法半导体的多片MEMS产品(如智能传感器、多轴惯性模块)内,硅通孔威廉希尔官方网站 以垂直短线方式取代传...
ST-Ericsson 稍早前宣布推出一款 Snowball 开发板,整合该公司的 Nova A9500 双核心应用处理器、MEMS元件(3D陀螺仪、加...
2011-10-04 标签:MEMSST-EricssonSnowball 1175 0
市场研究机构 ABI Research 预测,全球智能手机与平板装置用 MEMS传感器与音频组件市场,将在 2016年达到15亿美元规模。
“上海先进”(ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司)在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工...
2011-09-27 标签:MEMS 1181 0
多门类实用的MEMS演示样品向早期产品演绎,可批量生产的微加速度计、力敏传感器、微陀螺仪、数字微镜器件、光开关等的商品化日趋成熟,初步形成100亿美元的...
2011-09-20 标签:MEMS 5303 0
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