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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站 （半导体制造威廉希尔官方网站 ）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站 制作的高科技电子机械器件。
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