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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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RF MEMS 开关的设计与优化

射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS威廉希尔官方网站的一大重要应用领域，也是20世纪90年代至今研究MEMS威廉希尔官方网站各领域中飞速发展的热点。射频微机械开关体积小，...

2023-05-23 标签：MOSFET 射频 mems 1038 0

RF MEMS开关威廉希尔官方网站分析

从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型，分析了各类MEMS开关的性能及优缺点，分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层威廉希尔官方网站、封...

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可穿戴设备中的传感器：尺寸越来越“小”，左右越来越“大”

MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来，MEMS威廉希尔官方网站在汽车行业尤其是包括安全...

2023-05-20 标签：传感器 MEMS 可穿戴设备 2390 0

电气化和智能化，会给汽车上的MEMS带来什么变化

微机电系统（MEMS）是一种紧凑型设备，在单个硅芯片上组合各种功能，如机械、光学、流体和电子，是医疗、运输和电信领域发展的主要支持威廉希尔官方网站。MEMS加速度计...

2023-05-20 标签：传感器 MEMS 陀螺仪 844 0

利于气溶胶喷射打印威廉希尔官方网站制备高频SAW温度传感器

声表面波（SAW）器件是微机电系统（MEMS）的一个子类，其在受到电激励时会产生声波辐射。

2023-05-20 标签：温度传感器 mems 探测器 546 0

惯性测量单元 (IMU) 探秘

今天的现代电子设计已经采用了这种机械知识并将其制成传感器。这类传感器可采用微机电系统 (MEMS) 进行制造。传感器威廉希尔官方网站可实现传感器融合，从而将多个传感...

2023-05-16 标签：传感器 mems 物联网 1060 0

面向光声气体痕量检测的高灵敏度电容式MEMS

TDLS检测利用光电二极管测量穿过气室的激光强度。根据比尔-朗伯（Beer–Lambert）定律，红外吸收威廉希尔官方网站的灵敏度与吸收路径的长度成正比，这意味着性...

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与传统振荡器相比，MEMS振荡器究竟有哪些优势呢

便携式和可穿戴电子产品的兴起，推动了降低包括振荡器在内的各类电子元件的能耗和占地面积的需求。基于微机电系统（MEMS）威廉希尔官方网站的振荡器将精确的输出频率和低功...

2023-05-08 标签：振荡器 mems 电子元件 2231 0

复旦大学在新型MEMS基ppb级硫化氢气体传感器研究中取得进展

随着新材料的研究不断深入，MOF材料在气体传感领域展现了极大的应用前景。MOF多孔纳米材料由金属离子和有机配体自组装而成，具有孔隙率高、比表面积大、孔道...

2023-05-05 标签：传感器 mems 复合材料 1117 0

MEMS威廉希尔官方网站的主要分类及应用

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mems和芯片有什么区别

MEMS芯片（微电子机械系统芯片）是一种新型的集成芯片，也可以被称为微机电系统芯片（Micro-electromechanical System Chi...

2023-05-03 标签：传感器集成电路 mems 2.1万 0

MEMS威廉希尔官方网站亮点上海交大国家重点实验室详解MEMS中的动力学问题研究

这个一份来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室，是一份硬核威廉希尔官方网站资料。主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题，包括了MEMS基本概念、模型、历史...

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MEMS威廉希尔官方网站实现了便携式HD投影显示的创新型全新应用

基于MEMS的TI TI DLP® Pico™ 投影显示威廉希尔官方网站的核心是一组高反射性铝制微镜，被称为数字微镜器件 (DMD)。一个DMD可以包含数百万个单独...

2023-04-17 标签：显示器 mems DMD 2368 0

纽迪瑞首次公开发布NMP系列MEMS数字气压传感器

NMP系列数字气压传感器，基于MEMS威廉希尔官方网站，通过蚀刻在硅片上的高精密半导体电阻组成惠斯通电桥以作为机电变换测量电路，可用于微小压力检测。

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扒一扒SAW、BAW、FBAR滤波器原理

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二维微机电阵列为移动光谱分析仪打下基础

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MEMS传感器是当今最热门的传感器种类，MEMS威廉希尔官方网站使传感器微型化、低功耗、集成化成为可能，是未来传感器威廉希尔官方网站的发展方向之一。本文编译自传感器宝...

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总结各种传感器原理

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2023-04-06 标签：传感器 mems 物联网 1168 0

气密性封装和非气密性封装介绍

封装的目的之一就是使芯片免受外部气体的影响，因此，封装的形式可分为气密性封装和非气密性封装两类。

2023-03-31 标签：处理器 mems 机电系统 1.0万 0

一文看懂TSV

肖特基的硅片上制作孔专利此后， IBM开始在集成电路领域发力，并在垂直电互连方面取得了突破。

2023-03-31 标签：集成电路 mems TSV 1520 0

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