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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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机械光开关和MEMS光开关的工作原理及应用对比

光开关具有一个或多个可选择的传输窗口，可分为2×2，1×N，M×N多种端口配置形式。光开关在光纤通信系统中有着广泛的应用，其实现威廉希尔官方网站多种多样，包括：机械...

2020-10-28 标签：开关 mems 耦合器 7340 0

MEMS接口集成电路设计

天津大学校友朱维麟1957年毕业于天津大学精密工程系，并留校任教多年，1991年获得美国凯斯大学机电工程系硕士学位。在美国从事25年的电路设计经验，在模...

2018-06-08 标签：集成电路 MEMS 7321 1

知微传感获得盈峰资本千万级天使轮投资，用于设备投入、产品研发和市场投放

近日，猎云网独家获悉，以3D视觉硬件产品为核心的西安知微传感威廉希尔官方网站有限公司完成千万级天使轮融资，领投方为盈峰资本，此次融资主要用于设备投入、产品研发和市场...

2018-01-04 标签：mems 3d 激光雷达 7304 0

静电驱动MEMS传感器原理

许多MEMS 驱动器都是利用静电力作用驱动力。在很多微型电动机和制动器的设计工作中，准确的估算静电力大小是非常重要的。

2022-12-13 标签：传感器驱动器 mems 7285 0

浅析传感器步进响应与带宽之间关系

对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。

2018-08-24 标签：传感器 MEMS 7251 0

论SMI SM95D/G在充油芯体领域应用

SM95系列是一款硅型微压电阻式压力传感芯片，其满量程为0.15 到1.5PSI（1到 10 kPa），特别适用于OEM和高容量应用，以DIE形式提供，...

2018-12-29 标签：mems 压力变送器硅传感器 7222 1

应变式传感器的相关特性和应用说明

传感器威廉希尔官方网站发展很快，生活各方面对传感器威廉希尔官方网站均有所应用。在往期文章中，小编对传感器威廉希尔官方网站有所介绍，如视觉传感器威廉希尔官方网站、图像传感器威廉希尔官方网站、多传感器融合威廉希尔官方网站等。为进...

2020-06-27 标签：传感器 MEMS 热电阻 7207 0

采用标准的CMOS工艺和掩膜威廉希尔官方网站制造而成的NEMS传感器

据麦姆斯咨询报道，NANUSENS的NEMS传感器采用标准的CMOS工艺和掩膜威廉希尔官方网站制造而成。在NANUSENS的工艺中，使用HF蒸汽（vHF）通过钝化层...

2017-10-19 标签：mems NEMS 7181 0

如何设计压电MEMS超声波换能器产品

本文介绍了压电MEMS超声波换能器产品的设计过程，包括传感器的仿真、设计以及它与整个系统的集成。

2018-12-26 标签：MEMS 超声波 7124 0

关于麦克风波束成形的基本原理

所有MEMS麦克风都具有全向拾音响应，也就是能够均等地响应来自四面八方的声音。多个麦克风可以配置成阵列，形成定向响应或波束场型。经过设计，波束成形麦克风...

2018-04-23 标签：adi mems snr 7124 0

一张图让你看懂MEMS加速度传感器在车身稳定系统中有何作用

随着移动互联网和物联网的快速发展，MEMS微机电系统产业迎来了重大发展机遇。在致力于防患未然的汽车主动安全领域，ESC（车身稳定系统）、ABS（防抱死系...

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MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链相关企业简介

MEMS，(Micro-Electro Mechanical Systems)，也称为微电子机械系统、微电机系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站 (半导体制造技...

2018-02-07 标签：传感器 mems 7063 0

自动驾驶车内惯性导航传感器全面解读

自从汽车制造商开始使用第一台微机电传感器(MEMS)加速计来测量加速的强劲力道以及启动安全气囊已经二十多年了。第一台惯性传感器早已为今日的先进驾驶辅助系...

2018-09-09 标签：传感器 mems adas 7060 0

MEMS超声波换能器为何是现在进入大众市场？

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MEMS 麦克风威廉希尔官方网站简介 — 模拟麦克风与数字麦克风

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浅析微流控芯片与其他芯片的区别

傲睿科技落户于上海，公司依托上海微威廉希尔官方网站工研院8英寸MEMS工艺线及测试分析平台，整合了国内外相关产业资源，通过自主工艺生产制造和最终产品性能、质量测试，...

2020-09-27 标签：芯片集成电路 mems 7009 0

MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺

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2020-07-21 标签：mems PCB设计压力传感器 7003 0

一文带你深入了解机械耐用、功耗低的MEMS开关

解决大问题需要开创性的威廉希尔官方网站。机电继电器早在电报问世之初就已存在，但没有其他替代的开关威廉希尔官方网站可满足所有市场需求——特别是对于测试和测量、通信、防务、医疗保健...

2017-09-01 标签：mems 机电继电器 6983 0

Micralyne即将推出下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS威廉希尔官方网站平台

据麦姆斯咨询报道，MEMS代工厂Micralyne展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS威廉希尔官方网站平台——标准的硅工艺威廉希尔官方网站和工艺模块。

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常见MEMS流体陀螺的原理、优缺点和应用前景

流体类陀螺仪与传统陀螺仪相比，由于没有悬挂质量块，结构大大简化，制作难度降低，更重要的是，省去了复杂的活动部件，其抗冲击、抗振动能力大大提高，特别适合在...

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