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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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干法刻蚀与湿法刻蚀各有什么利弊？

在半导体制造中，刻蚀工序是必不可少的环节。而刻蚀又可以分为干法刻蚀与湿法刻蚀，这两种威廉希尔官方网站各有优势，也各有一定的局限性，理解它们之间的差异是至关重要的。

2023-09-26 标签：mems 晶圆半导体制造 8070 1

自动驾驶威廉希尔官方网站 IMU的基础知识和应用场景

我们经常会看到DOF,自由度的概念，今天我们就从DOF开始进一步理解IMU的基础知识和应用场景。

2019-06-01 标签：MEMS IMU 自动驾驶 7986 0

MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理研究

本文通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法，针对不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入探讨和分析。

2018-05-21 标签：MEMS 惯性器件 7986 0

使用MSGEQ7频谱分析仪的技巧和窍门

随着我们对音频无反应项目的日益复杂，我们可能决定用提供自动增益控制的麦克风代替简单的MEMS麦克风加放大器。这是我以前与MSGEQ7相关的文章的后续文...

2021-05-20 标签：微控制器放大器 mems 7863 0

顾杰斌团队研发的MEMS-Casting™威廉希尔官方网站实现了MEMS和铸造的完美结合

MEMS威廉希尔官方网站与铸造的结合，缘自它们之间的一个共通点：两者都是机械部件制造威廉希尔官方网站，区别在于尺度上存在几个数量级差异。相对于其他机械加工方法，例如车，铣，抛等...

2019-03-26 标签：mems 模拟器件工艺流程 7830 0

基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定的平台，

2018-03-20 标签：MEMS IMU频率 7806 0

MEMS麦克风的内部组成及应用优势分析

MEMS（微型机电系统）麦克风是基于MEMS威廉希尔官方网站制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上，使用表贴工艺贴装到电路板上并搭配合适的ASIC，...

2019-08-15 标签：电容器 mems 电路板 7750 0

Mentor Graphics的Tanner EDA软件，针对定制IC、AMS和MEMS设计

Mentor Graphics的Tanner EDA软件是一套针对定制集成电路（IC）、模拟/混合信号（AMS）和MEMS设计的产品。对物联网(IoT)...

2018-05-29 标签：mems 传感威廉希尔官方网站 7727 0

TU Wien开发一款硅基MEMS电场测量传感器其优势是干扰正在测量的电场

MEMS电场传感器的测量原理“目前用于测量电场强度的设备具有一些显著的缺陷，” TU Wien传感器和执行器系统研究院的Andreas Kainz解释称...

2018-01-29 标签：传感器 mems 电场 7684 0

微流控威廉希尔官方网站是下一代医疗诊断颠覆性威廉希尔官方网站 ,聚合物的微加工方法

然而对于微尺度结构的加工，尤其是高深宽比结构的填充，注塑成型通常做的不如热压成型填充率高，对于微结构的填充最有效的办法是使用变模温注塑威廉希尔官方网站，即在一个循环...

2018-05-07 标签：MEMS 微流控芯片 7665 0

MEMS压电超声换能器CMUT&PMUT以及生产工艺

声波：物体振动时激励着它周围的空气质点振动，由于空气具有可压缩性，在质点的相互作用下，振动物体四周的空气就交替地产生压缩与膨胀，并且逐渐向外传播，从而形成声波。

2023-07-08 标签：mems 超声波换能器 7586 0

基于3D MEMS OXC的基本结构与应用范围分析

实现OXC的第二种威廉希尔官方网站方案是基于MEMS微镜阵列的Cross-Bar光开关，日本东京大学的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年报道...

2020-05-08 标签：开关 mems 7558 1

简单的mems陀螺仪姿态算法介绍

将陀螺仪绕X轴旋转时，只有wx有读数；将陀螺仪绕Y轴旋转时，只有wy有读数；将陀螺仪绕Z轴旋转时，只有wz有读数；

2020-06-05 标签：mems 陀螺仪九轴传感器 7528 0

受益于LED威廉希尔官方网站的广泛应用，汽车照明市场将以超预期的增长速度在2022年增长至359亿美元

LED威廉希尔官方网站过去仅在高端汽车使用，并且需要和卤素灯、氙气灯等传统光源竞争。LED改进的性能、更低的功耗以及灵活的设计，是其赢得竞争的主要优势。另外，降低的...

2017-10-16 标签：mems 汽车照明 7525 0

MEMS 与CMOS 集成工艺威廉希尔官方网站的区别

Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成，带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。

2022-10-13 标签：mems 芯片设计微机械 7520 0

高性能MEMS是什么意思陀螺仪的作用又是什么

线性度有时被视为灵敏度的子集。把它单独提出是有原因的。如果举一个机器人性能与灵敏度和线性度的关系的示例，可能更有说服力。这一点务必请注意，因为如果购买线...

2018-04-13 标签：mems 陀螺仪 7495 0

基于MEMS威廉希尔官方网站的加速度传感器分析与应用

MEMS威廉希尔官方网站正在逐步走向民用和消费类市场，我们正处于“MEMS狂潮”的开端，ST将以其完善的生产基础、高效的执行能力、对消费电子市场的深入了解，以及先进...

2018-01-17 标签：传感器 mems 7445 0

基于MEMS加速度计的振动监控解决方案

MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、...

2017-08-08 标签：传感器 adi mems 7438 0

不同类型MEMS传感器的比较 MEMS传感器的工作原理

由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器威廉希尔官方网站差异较大。MEMS惯性传感器主要检测物体的运动，需要将传感器安装在载体上用于检测载体的...

2023-06-13 标签：mems 陀螺仪惯性传感器 7401 0

微流控芯片的发展及制造工艺介绍

微全分析系统的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz与Widmer提出的，当时主要强调了分析系统的微与全，及微管道网络的MEMS...

2018-09-05 标签：mems 光刻微流控芯片 7352 0

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