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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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什么是MEMS传感器？mems传感器的组成和应用分类有哪些？

传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品 MEMS传感器。什么是MEM...

2017-11-24 标签：传感器 mems 微机电系统 9967 0

智能语音威廉希尔官方网站之麦克风的主要威廉希尔官方网站特性分析

智能语音助理成为当红炸子鸡，作为相关应用不可或缺的声音感测器，麦克风的市场规模也将出现明显爆发，其中又以MEMS麦克风受惠最大。至于驻极体麦克风(ECM...

2017-12-20 标签：mems 麦克风频率响应 9960 0

全球主流可穿戴传感器分类及主要方案盘点

IHS 预期，消费者对各类可穿戴设备的强劲需求，将让应用在可穿戴设备中的传感器出货量激增，预计在2013至2019年间将成长七倍；可穿戴传感器出货量在 ...

2014-11-28 标签：传感器 MEMS 可穿戴设备 9827 1

浅谈MEMS威廉希尔官方网站工艺的发展及未来

MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面...

2018-03-12 标签：台积电 mems 9755 0

典型的MEMS工艺流程的简介

MEMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中，采用低压化学气相淀积（LPCVD）这一类方法来获得作为结构单元...

2021-02-11 标签：集成电路 MEMS 执行器 9643 0

MEMS制程:简要介绍一下前段制程的特点及涉及的设备

电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内膜材，使膜材表面原子蒸发进而沉积在基片上；以FATRI UTC电子束蒸镀机在MEMS制造过...

2018-04-12 标签：半导体 mems 电磁场 9575 0

超级全面！一文看懂***：MEMS传感器及芯片制造的最核心设备

文章大纲光刻是芯片制造最核心环节，大陆自给率亟待提升 ·光刻机是芯片制造的核心设备，市场规模全球第二 ·一超两强垄断市场，大陆卡脖子现象凸显光刻机：...

2023-06-19 标签：传感器 mems 光刻机 9557 0

MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计

由于MEMS威廉希尔官方网站可以将传统的磁传感器小型化，因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功耗低、高灵敏和批量生产等优点。

2018-04-03 标签：MEMS 磁传感器 9520 0

浅析MEMS麦克风噪声失效具体案例

MEMS麦克风噪声主要包括MEMS芯片的机械振动噪声和ASIC芯片的电噪声，如何在非破坏性测试的情况下快速判断噪声失效的原因一直困扰着失效分析工程者。

2018-11-13 标签：芯片 MEMS 噪声 9355 0

MEMS麦克风读出电路设计方案

本文提供的MEMS麦克风读出电路设计方案具有噪声小、可以处理的小信号幅度范围广、功耗低等特点，可延长电池供电的便携式设备的待机时间。

2018-11-15 标签：MEMS 麦克风 9345 0

MEMS光开关控制原理解析

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量...

2018-01-17 标签：开关 mems 9273 0

超声波MEMS传感器SPM0404UD5的性能优势和实用性可能性

超声波被定义为上面的循环声压力人类听觉的频率限制，大约20 kHz。这是超声波最明显的特征，但不一定是最重要的。根据应用要求，用户可能还会关注：

2019-03-01 标签：传感器 mems 超声波 9152 0

关于MEMS传感器的广泛应用领域

物联网的发展，传感器产品需求大幅增加，重心也逐渐转向威廉希尔官方网站含量较高的MEMS传感器领域。

2018-04-30 标签：MEMS VR 9119 0

基于ADXL362的运动监测MEMS加速度计电路模块设计

采用ADI公司三轴加速度传感器ADXL362。ADXL362既能测量动态加速度也能测量静态加速度，具有超低功耗，采用SPI通信。

2014-09-23 标签：MEMS ADXL362 9113 0

有浅入深的介绍BLE与MEMS中的开发板设计

当BLE遇到MEMS，就如同天使有了翅膀。本期从有浅入深的介绍BLE与MEMS的那些事，就从ST的STEVA

2018-03-31 标签：MEMS 陀螺仪 ST 9112 0

世健结合MEMS威廉希尔官方网站的红外光源和传感器的红外气体检测方案

使用的红外光源EMIRS 50是通过紧凑的TO-46封装，它可以提供带保护帽或者带反射面，这些结构可以配置蓝宝石或氟化钙、氟化钡和锗等材料的滤光片。

2018-03-20 标签：传感器 mems 世健 9084 0

如何将3D加速计和陀螺仪组合使用

加速计和陀螺仪是获取无人机、蜂窝电话、汽车、接收机和移动物联网设备中加速和旋转信息的传感器选择。但加速计和陀螺仪都容易有误差，加速计可能出现噪音、陀螺仪...

2018-08-07 标签：mems 陀螺仪加速计 9045 0

哪些半导体工艺、细分市场以及激光器类型，将驱动激光设备市场增长？

半导体产业的激光应用越来越广泛且多样化。多种激光威廉希尔官方网站已经整合进入许多重要的半导体工艺中。

2017-10-16 标签：mems 激光器 9037 0

MEMS惯性传感器的背景及发展现状

MEMS （ Micro-Electro-Mechanical System ）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于...

2018-02-23 标签：传感器 mems 9012 0

探讨什么是MEMS可调性滤波器？

滤波器是射频微波系统必不可少的重要组成部分，性能优异的滤波器模块是射频微波通信系统能正常工作的必要前提。传统的微波滤波器虽然在参数指标上有很优秀的性能，...

2019-03-14 标签：滤波器 mems 9008 0

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