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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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传感器安装与焊接时的注意事项

传感器的处理和安装有很多方面，这对于实现最佳传感器性能至关重要。这些元素包括湿度敏感性，ESD考虑因素，机械冲击的影响，以及物理安装，放置和焊接。

2019-02-12 标签：传感器 esd mems 1.2万 0

探析倾角传感器的原理及应用场合

“倾角传感器”顾名思义，就是测量倾斜角度的一种角度传感器。倾角传感器应用场所极多，随着MEMS威廉希尔官方网站的发展，倾角传感器得到越来越广泛的应用。适合应用于工厂...

2019-02-26 标签：传感器 MEMS 1.2万 0

MEMS 麦克风波束成形简介

波束成形阵列若包含多个 MEMS 麦克风，则可以通过增强某一方向的声音并衰减其他方向的声音来克服这一问题。该方法将麦克风信号叠加，借由延迟插入、放大和滤...

2019-08-07 标签：滤波器 mems 麦克风 1.2万 0

高性能MEMS加速度计低成本解决方案

导航和AHRS系统、机器健康状况检测的振动监控、基础设施的结构健康状况监控和平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系...

2018-06-12 标签：mems 加速度计 1.1万 0

详解MEMS威廉希尔官方网站的发展历史进程

MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的...

2018-01-17 标签：mems 1.1万 0

基于MEMS麦克风阵列的四通道语音采集系统设计

单个孤立麦克风作为传统的语音拾取工具，在噪声处理、声源定位和跟踪，语音增强等方面存在不足，在噪声环境下会严重影响语音质量。一些文章探讨了多通道麦克风的降...

2015-07-02 标签：DSP mems MEMS麦克风 1.1万 0

重力加速度传感器原理及应用

重力传感器简称GV-sensor，输出重力数据。在地球上，重力数值为9.8，单位是m/s^2。坐标系统与加速度传感器相同。当设备复位时...

2018-08-24 标签：mems 加速度传感器重力传感器 1.1万 0

常见MEMS气体传感器有哪些类型

固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种，电流型的灵敏度高，测量范围大，温漂小。但它的输出电流和敏感性能与电极尺寸关系密切。传统的烧结体型器件难于控制电...

2018-12-11 标签：mems 气体传感器 1.1万 0

MEMS威廉希尔官方网站加工工艺与IC工艺区别

微机械加工工艺分为硅基加工和非硅基加工。下面主要介绍体加工工艺、硅表面微机械加工威廉希尔官方网站、结合加工、逐次加工。

2013-01-30 标签：IC MEMS 微机械系统 1.1万 1

MEMS谐振传感器新范式：热噪声驱动的传感器的可行性与动态检测性能

近日，上海交通大学机械与动力工程学院张文明教授团队在国际微纳领域权威期刊《Microsystem& Nanoengineering》上发表了题目为“Th...

2024-06-29 标签：传感器 mems 谐振器 1.1万 0

MEMS元件封装介绍！

MEMS是随着半导体集成电路微细加工威廉希尔官方网站和超精密机械加工威廉希尔官方网站的发展而发展起来的，目前MEMS加工威廉希尔官方网站还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行...

2018-08-08 标签：传感器 MEMS 1.1万 0

倾角测量的原理双轴倾角设计及其应用

MAV由于体积和负载能力极为有限，因此，减小和减轻飞控导航系统的体积及重量，就显得尤为重要。本文基于MEMS加速度传感器，设计一种双轴倾角计，该装置精度...

2018-04-13 标签：mems 加速度传感器 1.1万 0

MEMS开关基本原理及性能优势

本文介绍ADI公司突破性的微机电系统（MEMS）开关威廉希尔官方网站。与传统机电继电器相比，ADI公司的MEMS开关威廉希尔官方网站使RF和DC开关性能、可靠性及小型化实现了跨...

2019-03-04 标签：ADI MEMS 1.1万 0

通过不同加速度传感器的原理、制作工艺及应用展开全面了解

MEMS压阻式加速度传感器的敏感元件由弹性梁、质量块、固定框组成。压阻式加速度传感器实质上是一个力传感器，他是利用用测量固定质量块在受到加速度作用时产生...

2018-05-03 标签：MEMS 压敏电阻加速度传感器 1.0万 0

什么是MEMS？MEMS深度文章从原理制造到应用全讲透

MEMS传感器在各类电子产品上快速普及，我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含，然而大部分人对MEMS威廉希尔官方网站还是比较陌生的。 MEMS威廉希尔官方网站 ...

2023-08-21 标签：传感器芯片 mems 1.0万 0

评估MEMS陀螺仪信号中常见噪声源的简单流程

当MEMS惯性测量单元（IMU）用作运动控制系统中的反馈传感器时，你，必须了解陀螺仪的噪声情况，因为，它会在所监视的平台上造成不必要的物理运动。

2017-11-02 标签：mems 陀螺仪 1.0万 0

在双线式麦克风电路中使用MEMS麦克风

如今MEMS麦克风正逐渐取代音频电路中的驻极体电容麦克风（ECM）。ECM和MEMS这两种麦克风的功能相同，但各自和系统其余部分之间的连接却不一样。本应...

2013-11-18 标签：ADI MEMS 1.0万 0

气密性封装和非气密性封装介绍

封装的目的之一就是使芯片免受外部气体的影响，因此，封装的形式可分为气密性封装和非气密性封装两类。

2023-03-31 标签：处理器 mems 机电系统 1.0万 0

基于MEMS磁传感器在制备过程设计及应用

在这些传感器中，虽然SQUID可探测极小磁感应强度(fT)，但装置需要低温冷却，并且易受电磁干扰，为此需要复杂的外围设备。

2018-04-08 标签：MEMS 磁传感器 1.0万 0

智能手环五大主流MEMS传感器盘点

近几年，各种智能穿戴设备兴起，其中智能手环、腕表更是花样繁多，但究其根本，在核心硬件原理上，都大同小异，而传感器作更是其中必不可少的一环，下面笔者就为大...

2015-03-19 标签：MEMS 智能手环 1.0万 1

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