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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子威廉希尔官方网站 (半导体制造威廉希尔官方网站 )基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站 制作的高科技电子机械器件。
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过去30年来,MEMS开关一直被认为是性能有限的机电继电器的出色替代器件,因为它易于使用,尺寸很小,能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz...
解决大问题需要开创性的威廉希尔官方网站 。机电继电器早在电报问世之初就已存在,但没有其他替代的开关威廉希尔官方网站 可满足所有市场需求——特别是对于测试和测量、通信、防务、医疗保健...
MEMS麦克风含一个可移动的膜片和静态背板,采用常见的包括沉积和选择性蚀刻的工艺制作在硅晶圆基板上。背板有穿孔,允许空气流通而不引起偏离。膜片的设计是为...
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施威廉希尔官方网站 ,MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素,我们就来说说状态监控领域...
今天我们将通过回顾一些数据来说明MEMS威廉希尔官方网站 的发展状况及性能水平,并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。
一文探讨运动传感器的威廉希尔官方网站 挑战和复杂程度(测量/提升/保障生)
讨论MEMS与生活品质的关系时,定义如下的不同程度或阶段可能会有用:从测量、提升到保障。惯性传感器能够测量、捕捉或估计人体的输出/健康状况,因而与音频和...
现在智能家居中的传感器基本都是集成传感器,集成传感器是利用集成电路工艺将半导体敏感元件、测量处理电路集成在一个芯片上制成的性价比高、使用方便的小型化传感器。
以Apple Watch和Fitbit代表的智能可穿戴市场在2016年继续保持增长,不过续航时间短、检测数据不够准确、与智能手机功能重叠等因素都导致了可...
从汽车到厨房,甚至是更多的场景,装有数百万个闪闪发光的微镜的芯片正在改变我们与新一代消费类电子产品之间的互动。
现在市面上的可穿戴设备越来越多,对于可穿戴设备,尤其是手腕式的可穿戴设备的竞争日益激烈。对于可穿戴设备的研究核心在于可穿戴传感器的研究。可穿戴设备的功能...
传感器的数量在整个地球表面和人们生活周遭空间激增,提供世界各种数据讯息。这些价格亲民的传感器是物联网发展和我们的社会正面临数字化革命背后的驱动力,然而连...
MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米...
目前,传感器在物联网发展中正扮演者越来越重要的角色,目前传感器产品需求大幅增加,并且重心逐渐转向威廉希尔官方网站 含量较高的MEMS传感器领域,MEMS传感器的精确度...
压力传感器是最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床...
虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我...
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