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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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基于声机电类比原理的压电麦克风等效电路模型

目前应用最广泛的麦克风类型是微机电系统（MEMS）电容式麦克风，其主要结构为电容器结构，由背极板、振膜以及背极板和振膜之间的空气域组成。

2018-11-30 标签：MEMS 等效电路 1.4万 0

关于微惯性器件MEMS与ASIC系统集成关键威廉希尔官方网站的分析

MCM方案主要通过金丝键线或倒装焊的方式实现MEMS结构与ASIC系统的集成，与PCB方案相比，除了大幅改善SWaP指标之外，还能缩短信号路径、减小寄生...

2019-12-01 标签：asic mems soc 1.4万 0

MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别常见MEMS加速度传感器介绍

最大的区别就是：工作原理和应用的区别（具体概念看下百科），前者是利用加速度，后者是利用惯性；前者是用在测斜调平，后者是知道通过知道角速率，可以知道物体的...

2018-07-30 标签：mems MEMS加速度计 MEMS陀螺仪 1.4万 0

基于ADI的MEMS加速度计关键参数和特性，选出最适合你的MEMS加速度计

最新MEMS电容式加速度计应用于传统上由压电加速度计和其他传感器主导的应用领域。新一代MEMS加速度计可为CBM、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(...

2017-12-03 标签：adi mems 加速度计 1.4万 0

浅谈MEMS陀螺仪威廉希尔官方网站 MEMS是否取代光纤陀螺仪威廉希尔官方网站

MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪，就是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪就是这种，主要作用是在GPS没有信号时，通过陀螺仪的作用仍然能够继续精确导航。

2018-07-30 标签：mems 光纤陀螺仪 MEMS陀螺仪 1.4万 0

从三大应用角度深度剖析MEMS加速度计的关键指标

为应用选择最合适的加速度计可能并不容易，因为来自不同制造商的数据手册可能大相径庭，让人难以确定最为重要的威廉希尔官方网站指标是什么。

2018-01-08 标签：mems 物联网无线传感器 1.3万 0

微机电系统陀螺仪工作原理

MEMS陀螺仪采用的是依赖于相互正交的震动和转动引起的交变科里奥利力。

2019-08-09 标签：MEMS 陀螺仪 1.3万 0

单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

惯性MEMS三维集成TSV互连威廉希尔官方网站通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用集成电路IC芯片的TSV互连为两者层叠式立体化集成提供了便利。

2018-04-02 标签：集成电路 MEMS 1.3万 1

基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方案

前言定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中，如果位置信息可用并非常可靠，有更多的应用场景可以实现的。行人航位推算(PDR) 就是这样一种威廉希尔官方网站，在室内...

2018-03-16 标签：传感器 mems 陀螺仪 1.3万 1

怎么实现基于MEMS姿态传感器温度补偿？这篇文章告诉你

基于MEMS姿态传感器主要用于载体姿态的调整和倾角的检测，但是由于工作环境温度的改变，就会导致测量精度的变化，在一些高精度检测的要求下，则失去其检测的效...

2018-01-11 标签：温度传感器 mems 三轴陀螺仪 1.3万 0

MEMS传感器种类及国内外生产厂商

在物联网市场的带动下，传感器产品国产化需求不断增大，MEMS传感器产品正在被越来越广泛的应用。本文将介绍MEMS的传感器种类以及国内外MEMS运动传感器...

2016-11-01 标签：mems 运动传感器 mems麦克风 1.3万 0

评估MEMS陀螺仪信号中常见噪声源的简单流程

当MEMS惯性测量单元（IMU）用作运动控制系统中的反馈传感器时，你，必须了解陀螺仪的噪声情况，因为，它会在所监视的平台上造成不必要的物理运...

2017-10-23 标签：mems 陀螺仪 1.3万 0

三轴加速度传感器应用详解

加速度传感器有两种：一种是角加速度传感器，是由陀螺仪改进过来的。另一种就是线加速度传感器。它也可以按测量轴分为单轴、双轴和三轴加速度传感器。

2016-11-29 标签：传感器 MEMS 加速度传感器 1.3万 0

MEMS系统设计基本理论及设计关键威廉希尔官方网站

加速度计主要用于测量惯性的大小，进而分析传感器加速度的大小与运行的安全性。惯性大小与物体的质量、加速度有着直接的联系，成正比关系，质量相等时，加速度越大...

2018-05-21 标签：MEMS 汽车传感器 1.3万 0

威廉希尔官方网站前沿：原子层沉积ALD介绍

薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。

2023-07-13 标签：光伏电池 mems PVD 1.2万 1

量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一，它揭示了微观领域物质的结构、性质和运动规律，把人们的视角从宏观领域引入到微观系统。一系列区别于经典系统...

2018-02-06 标签：mems 交通量子传感器 1.2万 0

驻极体电容式麦克风的参数规格及设计

ECM是指驻极体电容式麦克风，与MEMS硅麦不同，其内部结构如图1所示。

2022-09-01 标签：mems 麦克风 ECM 1.2万 0

MEMS封装威廉希尔官方网站进行探讨研究与MEMS器件封装优势

微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的威廉希尔官方网站，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入...

2018-04-26 标签：MEMS 封装威廉希尔官方网站 1.2万 0

基于微流控芯片的代表性关键威廉希尔官方网站

单晶硅是最先尝试使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化学惰性和热稳定性，而且硅的微细加工威廉希尔官方网站已趋成熟。即使复杂的三维结构，也可用整体和表面微加工威廉希尔官方网站进...

2018-05-09 标签：芯片 MEMS 微流控 1.2万 0

讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校正

MEMS加速度计中的振动校正是如何发生的？振动校正需要知道哪些参数？

2018-05-19 标签：adi MEMS 低功耗 1.2万 0

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