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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子威廉希尔官方网站（半导体制造威廉希尔官方网站）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站制作的高科技电子机械器件。

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如何设计用于牲畜监测、车队管理和工业 4.0 物流的多重连接跟踪系统

作者：Jeff Shepard 投稿人：DigiKey 北美编辑对于牲畜管理等农业经营活动、食品和药品冷链仓储、车队管理，以及工业 4.0 灵活生产操...

2024-02-13 标签：传感器 mems 工业 917 0

MEMS 麦克风接口：模拟与数字输出

作者：Jeff Smoot 是 CUI Devices 应用工程和运动控制部门副总裁使用微机电系统(MEMS) 麦克风，就有可能将复杂的通信和监测功能...

2024-02-13 标签：mems 麦克风接口 2166 0

什么是姿态传感器MPU6050

　MPU6050是6轴运动处理传感器，它集成了3轴MEMS陀螺仪，3轴MEMS加速度计，以及一个可扩展的数字运动处理器DMP。使用它就是为了得到待测物体...

2024-02-15 标签：传感器 mems 陀螺仪 3690 0

一文详解MEMS高温压力传感器

高温压力传感器广泛应用于工业、航空航天等领域，用来监测航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室内的压力，耐高温和高可靠性是对其最基本的要求。

2024-01-23 标签：多晶硅 mems 压力传感器 4757 0

LPCVD威廉希尔官方网站助力低应力氮化硅膜制备

LPCVD是低压化学气相沉积（low-pressurechemical vapor deposition）的缩写，低压主要是相对于常压的APCVD而言，...

2024-01-22 标签：流量传感器 mems 压力传感器 2010 0

硅的形态与沉积方式

优化硅的形态与沉积方式是半导体和MEMS工艺的关键，LPCVD和APCVD为常见的硅沉积威廉希尔官方网站。

2024-01-22 标签：多晶硅半导体 mems 3168 0

MEMS制造工艺过程中膜厚测试详解

膜厚测试在MEMS制造工艺中至关重要，它不仅关乎工艺质量，更直接影响着最终成品的性能。为了确保每一片MEMS器件的卓越品质，精确测量薄膜厚度是不可或缺的一环。

2024-01-08 标签：mems 制造工艺测量仪器 1230 0

基于高温退火非极性面氮化铝单晶薄膜实现高性能声学谐振器开发

氮化铝（AlN）以其超宽禁带宽度（~6.2 eV）和直接带隙结构，与氧化镓、氮化硼、金刚石等半导体材料被并称为超宽禁带半导体，与氮化镓、碳化硅等第三代半...

2024-01-08 标签：半导体 mems 谐振器 710 0

调试MEMS加速度计，为什么Y轴和Z轴的MSB输出数据是0xFF？

本期小编将为大家分享的热门问答帖来自 MEMS专区。赶紧来看看，您是否也有相同的疑惑？

2024-01-05 标签：寄存器 mems 调试 973 0

MEMS反射镜应用有哪些？

激光投影仪将移动的光转换为更高级别的信息，用于实际用途，如标志、图形和视频。信息本身可以以矢量图形激光投影（VGLP）模式或光栅模式呈现，而MEMS镜的...

2024-01-05 标签：mems 微机电系统反射镜 1126 0

未来十年的传感器发展路线图

微机电系统与专用集成电路的结合也在同时走向成熟，这将带来前所未有的产品。传感器的微型化推动了远程医疗、智能家居、智能城市、先进制造设施、手持可穿戴设备等...

2024-01-03 标签：mems 晶体管微机电系统 1232 0

阻碍智能传感器发展的主要原因！50%的问题都出在这里！什么是MEMS封装？（附58家头部企业名单）

相关资料显示，在 MEMS 系统中发生的可靠性问题 50% 来自封装过程。2001年左右，封装成本占MEMS器件总成本的70%~80% ，使当时M...

2024-01-15 标签：传感器 mems 封装 850 0

MEMS压阻式压力传感器这些知识你都了解吗

大气压是我们经常听到的一个术语。您能解释一下它是什么以及它与压力传感器的相关性吗？

2024-01-02 标签：电阻电阻器 mems 848 0

MEMS工艺设计中如何实现应力匹配？

相较于本征应力，热应力在某些方面是可以化敌为友的。在MEMS热敏感执行器中，基于膜层之间的热膨胀系数差来实现悬臂梁的驱动。在双层膜形成的MEMS热驱动器...

2024-01-02 标签：mems 热应力氮化硅 1320 0

如何防止数字 MEMS 传感器出现混叠现象

作者：Tom Bocchino, STMicroelectronics 过去十多年来，基于微机电系统 (MEMS) 的设计人员一直选择使用数字式 MEM...

2024-01-01 标签：传感器滤波器 mems 910 0

一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案

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2023-12-29 标签：mems 压力传感器加速度计 563 0

基于微纳结构的MEMS热辐射红外光源威廉希尔官方网站原理

一些光栅结构也实现了向二维方向的拓展，使TE、TM两个极化方向产生相干的热发射成为可能。如图8所示为SiC交叉狭缝光栅结构示意图及光谱发射图。

2023-12-28 标签：mems 发射器气体传感器 1250 0

bmp280气压传感器模块例程

BMP280 气压传感器是一种高精度的数字气压传感器，可以用于测量大气压力、温度和高度。它具有低功耗、高线性度和高分辨率的特点，适用于各种应用场景，如天...

2023-12-18 标签：模块 mems 封装 2404 0

磁力计LIS2MDL开发(2)----电子罗盘

本文将介绍如何使用 LIS2MDL 传感器来读取数据来转化为指南针。

2023-12-18 标签：mems 电子罗盘指南针 1399 0

磁力计LIS2MDL开发(1)----轮询获取磁力计数据

本文将介绍如何使用 LIS2MDL 传感器来读取数据。主要步骤包括初始化传感器接口、验证设备ID、配置传感器的数据输出率和滤波器，以及通过轮询方式持续读...

2023-12-18 标签：mems 陀螺仪磁力计 1518 0

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