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ICT威廉希尔官方网站 高k金属栅(HKMG)的工艺过程简析
下图(a)中的沉积块状层是必需的,这是为了SEG可以生长在设计的区域。下图(c)显示了KOH硅刻蚀,这种刻蚀对<111>晶体硅具有高的选择性。
2023-08-25 标签:控制器CMPICT威廉希尔官方网站 4567 0
对于先通孔的过程,首先沉积通孔刻蚀停止层(ESL)的层间介质(ILD)、低k电介质、沟槽ESL、低k电介质的和覆盖层(下图(a))。
2023-08-14 标签:CMP光刻胶ICT威廉希尔官方网站 1922 0
有两个因素影响CMOS集成电路的速度,即栅延迟和互连延迟。栅延迟是指MOSFET开关的时间;互连延迟由芯片设计、工艺威廉希尔官方网站 ,以及互连的导体和电介质材料决定。
华为配电自动化解决方案利用先进的xPON、LTE等ICT威廉希尔官方网站 ,为智能电网时代的配电自动化发展提供了新的思路。
2018-09-10 标签:智能电网xponict威廉希尔官方网站 8865 0
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