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MIS器件

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　　由金属（M）-绝缘体（I）-半导体（S）组成的体系称为MIS结构，以这种结构形成的器件称为MIS器件（MIS二极管）。如果其中的绝缘体是SiO2，则相应地为MOS结构和MOS二极管。

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　　MIS器件的功能主要决定于其中绝缘体层的厚度：（1）假若绝缘体层的厚度足够大（对于绝缘体层是SiO2层的情况，大于5nm），则基本上不导电，这时即为MIS电容器；（2）假若绝缘体层的厚度足够薄（对于绝缘体层是SiO2层的情况，大约为1nm），则绝缘体基本上不起阻挡导电的作用（阻抗极小），这时即为Schottky二极管。

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MIS器件,MIS器件是什么意思以SiO2为栅介质时，叫MOS器件，这是最常使用的器件形式。历史上也出现过以Al2O3为栅介质的MAS器件和以Si3N4

2010-03-04 标签：MIS器件 1477 0

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