微电子机械系统是指利用半导体威廉希尔官方网站 设计和制造微米领域的三维力学系统，形成高度自动化、智能化，可以大批生产，价格低廉的微电子机械系统，具有广阔的应用前景，开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。