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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>视频威廉希尔官方网站 论文>基于图形处理器进行硅的各向异性腐蚀模拟

基于图形处理器进行硅的各向异性腐蚀模拟

2018-02-07 | rar | 0.65 MB | 次下载 | 1积分

资料介绍

  各向异性又叫“非均质性”,是指物体的物理、化学等性质随着测定方向而异的特性H1。硅在某些腐蚀溶液中,不同晶向的腐蚀速率不尽相同,这就是硅各向异性腐蚀的特点。硅各向异性腐蚀威廉希尔官方网站 是微电子机械系统( Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)工艺的一项核心工艺,利用该威廉希尔官方网站 可以在硅衬底上加工出各种复杂的三维结构。硅各向异性腐蚀是制造微机械结构的关键威廉希尔官方网站 之一,利用该威廉希尔官方网站 可以制造出微型传感器和微执行器等精密的三维结构。

  硅各向异性腐蚀过程复杂,采用元胞自动机interwetten与威廉的赔率体系 硅各向异性腐蚀非常耗时。为了加速腐蚀模拟过程,研究了基于图形处理器GPU)进行硅的各向异性腐蚀模拟。针对串行算法直接并行化方法存在加速效率低等问题,提出了一个改进的并行模拟方法。该方法增加了并行部分的负载,减少了内存管理的开销,从而提高了加速性能。实验证明该方法能够获得较理想的加速比。

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