资料介绍
针对传统SawyerTower电路测量薄膜电滞回线的不足,提出了电荷积分改进方案。并在改进SawyerTower电路基础上,结合虚拟仪器测量思想,组建以LabVIEW 和NI 公司数据采集卡为核心的软硬件平台测量系统,并结合Matlab 对采集数据进行分析处理,实现薄膜本征电滞回线的精确测量。经实验验证本测试系统可以快速准确完成薄膜电滞回线测量。
铁电学是一门多学科交叉的学科,它涉及物理学、化学、机械、电子工程和信息科学等众多学科领域[1], 铁电薄膜材料具有优良的特性,使其在微电子学、光电子学、集成光学和微机械学等领域有着重要的或潜在的应用,特别是可与半导体Si 集成电路兼容等特点而得到广泛地研究[2]。铁电材料具有自发极化,自发极化方向可以被外加电场反转,当外加电场为零
时,材料中仍存在剩余极化,而形成电滞回线[3]。电滞回线为是否为铁电体的重要判据,电滞回线参数也是薄膜性质的重要反映。
国内有学者[4]提出,薄膜电滞回线测量应充分考虑到线性电容和漏导的影响,并Sawyertower
电路进行了测量分析,针对传统SawyerTower电滞回线测量电路,反馈电压与激励电压分压的不足这一实际问题,本文提出了改进意见,并结合计算机强大的功能,设计了基于虚拟仪器的测量系统。
铁电学是一门多学科交叉的学科,它涉及物理学、化学、机械、电子工程和信息科学等众多学科领域[1], 铁电薄膜材料具有优良的特性,使其在微电子学、光电子学、集成光学和微机械学等领域有着重要的或潜在的应用,特别是可与半导体Si 集成电路兼容等特点而得到广泛地研究[2]。铁电材料具有自发极化,自发极化方向可以被外加电场反转,当外加电场为零
时,材料中仍存在剩余极化,而形成电滞回线[3]。电滞回线为是否为铁电体的重要判据,电滞回线参数也是薄膜性质的重要反映。
国内有学者[4]提出,薄膜电滞回线测量应充分考虑到线性电容和漏导的影响,并Sawyertower
电路进行了测量分析,针对传统SawyerTower电滞回线测量电路,反馈电压与激励电压分压的不足这一实际问题,本文提出了改进意见,并结合计算机强大的功能,设计了基于虚拟仪器的测量系统。
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