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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>传感器威廉希尔官方网站 论文>高温压力传感器固态隔离封装威廉希尔官方网站 的研究

高温压力传感器固态隔离封装威廉希尔官方网站 的研究

2009-07-02 | rar | 190 | 次下载 | 5积分

资料介绍

论述了多晶硅高温压力传感器小型化固态隔离封装威廉希尔官方网站 、静电键合威廉希尔官方网站 、不锈钢膜片的选择及波纹英国威廉希尔公司网站 、激光焊接威廉希尔官方网站 、硅油充灌和硅油隔离威廉希尔官方网站 等。以不锈钢膜片和高温硅油为隔离材料,使传感器的封装直径缩小到15 mm,在1 mA电流激励下传感器满量程输出为72 mV,零点稳定性为0.48%F.S/mon,提高了传感器的可靠性,拓宽了传感器的应用领域。
关 键 词 高温; 压力传感器; 静电键合; 固态隔离; 封装; 硅油充灌
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