资料介绍
通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点、性能以及研制情况,介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
关键词: 集成; 微型; 传感器; 研究
Abstract : The development of an advanced integrated micro2sensor has been introduced by the structure charac2 teristic and performance and manufacture of acoustic emission micro2sensors , vibration sensors , multi2sensor coupon and wireless integrated micro2sensors.
Key words : integrated ; micro ; sensor ; development
关键词: 集成; 微型; 传感器; 研究
Abstract : The development of an advanced integrated micro2sensor has been introduced by the structure charac2 teristic and performance and manufacture of acoustic emission micro2sensors , vibration sensors , multi2sensor coupon and wireless integrated micro2sensors.
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