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本文介绍洁净室空气处理系统自动控制的设计和应用。概述了MAH 的控制原理，详细地阐述了洁净室露点和温度的控制，并简要地介绍了洁净室正压差控制和设备的群控原则。最后给出了PLC 在半导体洁净厂房控制系统的应用实例。
关键词：空气处理，露点，温度，工程实例
目前中央空调系统的自动控制主要有DDC 和PLC 两种方式，DDC 固化了专门的控制策略，在办公大楼等民用领域使用较多。而PLC 具有可靠性高、网络通讯灵活、控制功能强、性价比高的特点，使得其在工业领域的环境控制如半导体洁净厂房的中央空调自控系统中得到了广泛使用。
HVAC 的空气处理系统主要实现对洁净区域的露点、温度和正压差的严格控制，防止静电损坏集成电路、空气中水分结露和粉尘对产品的污染,同时保持室内空气的新鲜度以使人体舒适。因此系统采用了可以独立实现加热、制冷、除湿、再热和送风的功能全新风空调机组MAH，以满足主要工艺参数指标和舒适性的要求。
根据相关的设计规范[1]和实际工艺的要求，洁净室的主要工艺参数分别控制在：室内温度(22±2℃) ,室内露点(10±1.5℃),洁净室对室外大气的正压差(10Pa) 。
本文以某半导体芯片封装测试厂洁净室的空气处理系统的控制为例，着重讨论空气处理
控制系统的设计和PLC 在其中的应用。
关键词：空气处理，露点，温度，工程实例
目前中央空调系统的自动控制主要有DDC 和PLC 两种方式，DDC 固化了专门的控制策略，在办公大楼等民用领域使用较多。而PLC 具有可靠性高、网络通讯灵活、控制功能强、性价比高的特点，使得其在工业领域的环境控制如半导体洁净厂房的中央空调自控系统中得到了广泛使用。
HVAC 的空气处理系统主要实现对洁净区域的露点、温度和正压差的严格控制，防止静电损坏集成电路、空气中水分结露和粉尘对产品的污染,同时保持室内空气的新鲜度以使人体舒适。因此系统采用了可以独立实现加热、制冷、除湿、再热和送风的功能全新风空调机组MAH，以满足主要工艺参数指标和舒适性的要求。
根据相关的设计规范[1]和实际工艺的要求，洁净室的主要工艺参数分别控制在：室内温度(22±2℃) ,室内露点(10±1.5℃),洁净室对室外大气的正压差(10Pa) 。
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