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纳米磁性薄膜材料的湿法工艺
冯则坤，何华辉
关键词：纳米薄膜，磁性材料，电镀
摘 要：介绍了纳米磁性薄膜材料特性、类型，综述了近年来兴起的湿法工艺及
其用湿法工艺制备的纳米磁性薄膜材料的特性。
1 引言
为满足电子设备小型化的要求，设备工作频率逐渐向高频方向发展。从
kHz 到MHz，进而向GHz 频段扩展。为此，对在电子设备中占据很大体积和重量
的磁性器件，如电感器、变压器的小型化、高频化也提出了很高的要求。在这种
背景下，国际上对用磁性薄膜做成的微磁器件的研究及与半导体器件成为一体的
磁性IC 研究十分活跃。这些器件主要用于便携式信息通信设备，如移动电话等。
在这些设备中，为保证其工作稳定性及经济性，电源部分的小型化和高效率化是
很重要的。所以薄膜化的磁性器件最早是从各种电感器、滤波器、DC/DC 变换器
中的变压器等开始的。
冯则坤，何华辉
关键词：纳米薄膜，磁性材料，电镀
摘 要：介绍了纳米磁性薄膜材料特性、类型，综述了近年来兴起的湿法工艺及
其用湿法工艺制备的纳米磁性薄膜材料的特性。
1 引言
为满足电子设备小型化的要求，设备工作频率逐渐向高频方向发展。从
kHz 到MHz，进而向GHz 频段扩展。为此，对在电子设备中占据很大体积和重量
的磁性器件，如电感器、变压器的小型化、高频化也提出了很高的要求。在这种
背景下，国际上对用磁性薄膜做成的微磁器件的研究及与半导体器件成为一体的
磁性IC 研究十分活跃。这些器件主要用于便携式信息通信设备，如移动电话等。
在这些设备中，为保证其工作稳定性及经济性，电源部分的小型化和高效率化是
很重要的。所以薄膜化的磁性器件最早是从各种电感器、滤波器、DC/DC 变换器
中的变压器等开始的。
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