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PZT薄膜的结晶特性及红外特性:采用电子束蒸发方法在n - Si (100)衬底上制备Pb ( Zrx Ti1 - x )O3 (简记为PZT)多晶薄膜. 用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr /Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系. 结果表明不同Zr /Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)择优取向;而在空气中退火后薄膜的择优方向与Zr/Ti成分比有关, Zr /Ti比值小时为(101)择优取向, Zr /Ti大时为(100)择优取向. 红外吸收光谱的测量结果表明(100)和(110)择优取向的PZT薄膜在长红外波段(8～12μm)存在较强的吸收峰, 而(101)择优取向的PZT薄膜在这一波段没有明显的吸收峰.
关键词: PZT材料; 择优取向; X射线衍射; 红外吸收光谱
关键词: PZT材料; 择优取向; X射线衍射; 红外吸收光谱
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