电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看威廉希尔官方网站 视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示
创作
电子发烧友网>电子资料下载>课件下载>大规模集成威廉希尔官方网站 5-离子注入ppt

大规模集成威廉希尔官方网站 5-离子注入ppt

2011-05-22 | rar | 1511 KB | 次下载 | 免费

资料介绍

        离子注入是另一种对半导体进行掺杂的方法。将杂质电离成离子并聚焦成离子束,在电场中加速而获得极高的动能后,注入到硅中(称为 “靶” )而实现掺杂。
        离子束的性质
        离子束是一种带电原子或带电分子的束状流,能被电场或磁场偏转,能在高压下加速而获得很高的动能。
        离子束的用途
        掺杂、曝光、刻蚀、镀膜、退火、净化、改性、打孔、切割等。不同的用途需要不同的离子能量 E :
                               E  < 10 KeV ,刻蚀、镀膜
                               E  = 10 ~ 50 KeV,曝光
                               E  > 50 KeV,注入掺杂       
5.1 离子注入系统
        离子源:用于离化杂质的容器。常用的杂质源气体有 BF3、 AsH3 和 PH3 等。
        质量分析器:不同离子具有不同的电荷质量比,因而在分析器磁场中偏转的角度不同,由此可分离出所需的杂质离子,且离子束很纯。
        加速器:为高压静电场,用来对离子束加速。该加速能量是决定离子注入深度的一个重要参量。
       中性束偏移器:利用偏移电极和偏移角度分离中性原子。   

下载该资料的人也在下载 下载该资料的人还在阅读
更多 >

评论

查看更多

下载排行

本周

  1. 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
  2. 0.00 MB  |  1490次下载  |  免费
  3. 2单片机典型实例介绍
  4. 18.19 MB  |  93次下载  |  1 积分
  5. 3S7-200PLC编程实例详细资料
  6. 1.17 MB  |  27次下载  |  1 积分
  7. 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
  8. 4.28 MB  |  18次下载  |  4 积分
  9. 5开关电源原理及各功能电路详解
  10. 0.38 MB  |  10次下载  |  免费
  11. 6基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
  12. 0.11 MB  |  4次下载  |  免费
  13. 7基于单片机和 SG3525的程控开关电源设计
  14. 0.23 MB  |  3次下载  |  免费
  15. 8基于单片机的红外风扇遥控
  16. 0.23 MB  |  3次下载  |  免费

本月

  1. 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  2. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
  4. 0.00 MB  |  66304次下载  |  免费
  5. 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下载  |  免费
  7. 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下载  |  免费
  9. 5555集成电路应用800例(新编版)
  10. 0.00 MB  |  33562次下载  |  免费
  11. 6接口电路图大全
  12. 未知  |  30320次下载  |  免费
  13. 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下载  |  免费
  15. 8开关电源设计实例指南
  16. 未知  |  21539次下载  |  免费

总榜

  1. 1matlab软件下载入口
  2. 未知  |  935053次下载  |  免费
  3. 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
  4. 78.1 MB  |  537791次下载  |  免费
  5. 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
  6. 未知  |  420026次下载  |  免费
  7. 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  8. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  9. 5Altium DXP2002下载入口
  10. 未知  |  233046次下载  |  免费
  11. 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
  12. 340992  |  191183次下载  |  免费
  13. 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
  14. 158M  |  183277次下载  |  免费
  15. 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
  16. 未知  |  138039次下载  |  免费