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实施半导体分立器件特性参数分析的最佳工具之—是数字源表(SMU)。数字源表可作为独立的恒压源或恒流源、伏特计、安培计和欧姆表，还可用作精密电子负载，其高性能架构还允许将其用作脉冲发生器、波形发生器和自动电流-电压(I-V)特性分析系统，支持四象限工作。解决了传统多台测试仪表之间编程、同步、接线繁杂及总线传输慢等问题。
常见测试
半导体分立器件包含大量的双端口或三端口器件，如二极管、晶体管、场效应管等。直流I-V曲线是表征微电子器件、工艺及材料特性的基石。分立器件的种类繁多，引脚数量及待测参数各不相同。除此以外，新材料和新器件对测试设备提出了更高的要求，要求测试设备具备更高的低电流测试能力，且能够支持各种功率范围的器件。
1、二极管特性的测量与分析
2、双极型晶体管BJT特性的测量与分析
3、MOSFET场效应晶体管特性的测量与分析
4、MOS器件的参数提取
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