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电子发烧友网>电子资料下载>电子元器件应用>高灵敏度差分电容检测电路的研究

高灵敏度差分电容检测电路的研究

2010-04-26 | rar | 155 | 次下载 | 5积分

资料介绍

摘 要:   基于微机械工艺制作的加速度计,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需 求研制了检测微小电容变化的电路。它检测电容变化的频率范围为D C~3 0 k Hz ,对寄生电阻、电容本质不敏感,既可以 检测单边电容变化,也可以检测差动电容变化,而且很容易由分离电路元件实现。该电路输出噪声极低 ,标称电容为1 0p F时,电容检测分辨率可达3 a F/ ~ /Hz ,和量程为1g的电容加速度计连接 ,输 出灵敏度为4 .5  V/g,加速度检测分辨率可达7×1 0  g/~ /Hz 。 
关键词:   电容加速度计;   差分测量;   差分电容一 电压变换器
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