电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
综述了全球CMP设备市场概况及适应0. 1$N.m工艺平坦化要求的CMP威廉希尔官方网站
现状，给出了向今300mm国片转移过程中CMP威廉希尔官方网站 占用成本及CMP设备性能指标。
为了进一步提高生产效率和降低成本，制备器件村底的硅片现正在由中200二 圆片向中300mm圆片过渡，对这种衬底必须进行全局平坦化。多年的研究表明，需要对多层布线互连结构中绝缘体、导体、层间介质（ILD），镶嵌金属W， Al， Cu， Au、多晶硅、硅氧化物等进行平面化处理，化学机械抛光（CMP）则是唯一的全局平面化威廉希尔官方网站 。 利用 Strasbaugh公司的抛光机在 EastFishkill T厂进行工艺的开发。1988年，IBM开始将CMP工艺用于4MDRAM器件的制造。到1990年，IBM公司便向Micron Technolog公司出瞥了采用CMP威廉希尔官方网站 的4MDRAM工艺。此后不久，又与咖-torol。公司合作，共同进人为苹果计算机公司生产PC机器件的行列。从此各种逻辑电路和存储器便以不同的发展规模走向CMP。到1994年，随着0. 5wm器件的批量生产和0. 35 P，rn工艺的开发，CMP工艺便逐渐进人生产线，设备市场初步形
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 从融资看通信行业发展现状 20次下载
- 2023可穿戴设备行业威廉希尔官方网站 与市场分析 21次下载
- EDA市场现状分析及趋势 4次下载
- 半导体设备行业系列-CMP.zip
- 化学机械抛光(CMP)威廉希尔官方网站 的发展、应用及存在问题 12次下载
- DSP威廉希尔官方网站 应用现状以及发展趋势(精)总结 24次下载
- CMP401/CMP402：23 ns和65 ns低压比较器数据表
- 化学机械抛光CMP威廉希尔官方网站 的发展应用及存在问题 9次下载
- 硅抛光片(CMP)市场和威廉希尔官方网站 现状 35次下载
- 浅析CMP比较指令 2次下载
- 比较器（Comparator_CMP）介绍 0次下载
- 国内外半导体设备威廉希尔官方网站 与市场 37次下载
- SiC单晶片CMP超精密加工威廉希尔官方网站 现状与趋势 0次下载
- CMP指令应用脉冲定位控制程序
- 国外半导体设备现状与发展趋势
- 化学机械研磨抛光CMP威廉希尔官方网站 详解 1637次阅读
- CMP抛光垫有哪些重要指标？ 1026次阅读
- CMP的概念、重要性及工作原理 6454次阅读
- 一文详解CMP设备和材料 5654次阅读
- CMP功能介绍及应用实例 4526次阅读
- 半导体制造工序中CMP后的晶圆清洗工序 3491次阅读
- 电力系统继电保护威廉希尔官方网站 的现状与发展 3980次阅读
- 半导体设备行业的发展现状及未来趋势 8142次阅读
- 目前智能网联汽车发展的威廉希尔官方网站 现状详解 3.1w次阅读
- 汽车管路的介绍及市场现状和未来趋势的介绍 1.1w次阅读
- 我国半导体产业发展现状如何？一窥半导体产业的现状 1.7w次阅读
- SiC功率半导体器件威廉希尔官方网站 发展现状及市场前景 1.1w次阅读
- 什么是MCU？MCU市场现状分析 9967次阅读
- PLC分路器市场威廉希尔官方网站 浅析 1570次阅读
- 户用光伏系统应用威廉希尔官方网站 现状与展望 1452次阅读
下载排行
本周
- 1Keysight B1500A 半导体器件分析仪用户手册、说明书 （中文）
- 19.00 MB | 4次下载 | 免费
- 2使用TL431设计电源
- 0.67 MB | 2次下载 | 免费
- 3BT134双向可控硅手册
- 1.74 MB | 2次下载 | 1 积分
- 4一种新型高效率的服务器电源系统
- 0.85 MB | 1次下载 | 1 积分
- 5LabVIEW环形控件
- 0.01 MB | 1次下载 | 1 积分
- 6PR735,使用UCC28060的600W交错式PFC转换器
- 540.03KB | 1次下载 | 免费
- 751单片机核心板原理图
- 0.12 MB | 1次下载 | 5 积分
- 8BP2879DB支持调光调灭的非隔离低 PF LED 驱动器
- 1.44 MB | 1次下载 | 免费
本月
- 1开关电源设计原理手册
- 1.83 MB | 54次下载 | 免费
- 2FS5080E 5V升压充电两串锂电池充电管理IC中文手册
- 8.45 MB | 23次下载 | 免费
- 3DMT0660数字万用表产品说明书
- 0.70 MB | 13次下载 | 免费
- 4UC3842/3/4/5电源管理芯片中文手册
- 1.75 MB | 12次下载 | 免费
- 5ST7789V2单芯片控制器/驱动器英文手册
- 3.07 MB | 11次下载 | 1 积分
- 6TPS54202H降压转换器评估模块用户指南
- 1.02MB | 8次下载 | 免费
- 7STM32F101x8/STM32F101xB手册
- 1.69 MB | 8次下载 | 1 积分
- 8基于MSP430FR6043的超声波气体流量计快速入门指南
- 2.26MB | 7次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935119次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420061次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233084次下载 | 10 积分
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191367次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183335次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81581次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73807次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65987次下载 | 10 积分
工商网监
评论