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微位移驱动器是一种能产生微米、亚微米甚至纳米级位移的装置，它在精密加工与测量中得到广泛的应用。目前国内外研究比较深入的微位移驱动器按其工作原理有压电陶瓷、液压驱动等类型。随着新型气动执行元件的开发和现代控制理论的导人，气动控制系统的控制性能得到了极大提高，使过去人们一直认为的气动控制系统只能用于气缸行程两端控制，难于满足对位置或力进行连续可调的高精度控制要求这一观念彻底改变。气动式微驱动器，相对于现有的机械式、压电陶瓷式、液压式微驱动器心，具有动作迅速、平稳、可靠、结构简单、节能、工作寿命长的特点，还有易于控制、易维护、无环境污染等优点。
本研究采用理论分析、有限元仿真和实验等方法对此微位移驱动器进行了结构设计并对其刚度、线性度、互耦性等性能进行了分析，验证其作为微驱动器的优势。
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