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EtherCAT 网络总共包括：20 个带有 EtherCAT 从站连接的伺服控制器，22 个 EtherCAT 端子站（其中含有 1000 个数字量 I/O，60 个interwetten与威廉的赔率体系 量 I/O，以及 57 个安全通道），30 个热连接组（带有 830 个数字量 I/O），41 个 PROFIBUS 主站和 21 个 CAN 主站。工厂的扩充完成以后，还会另外添加 30 个带有相同配置的热连接组。
在 EK1101 EtherCAT 耦合器中有一个 ID 开关，用于地址的分配。不仅可以在溅射室内任意位置执行操作，还可以识别阴极的类型。每个阴极类型均会分配到一个地址范围，并将被导入到 PLC 程序中，集成到所需的控制工艺。
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