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微电子机械系统 （Micro Electron-Mechxniaal System-MEMS）是在微电子威廉希尔官方网站 基础上发展起来的-i3新兴威廉希尔官方网站 。它涉及到微电子学、光学、声学、磁管、气动力学、流体力学与自动控制等多个学科。MEMS是涌过半导体微细加工威廉希尔官方网站 及微机械加工威廉希尔官方网站 在硅等半导体基板上制作的一种微型电子机械装置。微机械可以分为几个等级：特征尺寸在Imm一1。二 的为小型机械，Ipm一Imtn的为微型机构，1。一1lxm的为纳米机械。当前，MEMS正向多功能化方向发展，即集微型机械、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、接口、电源和通信等单元于一体，成为一个完整的机械电子系统。
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