洁净室的温湿度控制设计

洁净室的温湿度控制设计
The design of temperature and humidity control in clean rooms
刘瑞 吸 ’ 王 玲‘ 王永晰“
(陕西科技大学，，成阳712081;山东浪潮集团2，济南250013)
摘要以药厂洁净室的温湿度控制为例，设计了一套基于串级控制和分程控制的洁净室温湿度控制系统。该系统不仅适用于药厂
洁净室的恒温恒湿控制，也可用于各种制造行业的室内温湿度控制。
关键词温湿度串级控制PID
'This paper designed the method of cascade control and sequence control, based on the pharmacy. This system can be used not。吻in invariable temperature and humidity control of clean， ，but also in various Keywords temperaturea ndh umidity cascadec ontorl Por

温湿度控制的特性以及常见问题
1.1 温湿度控制的特性
对湿 空 气 单纯地加热或制冷过程，是含湿量保持不变的过程，即绝对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反，对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，则单纯靠加热/冷却过程是不能实现的。冷却去湿过程是湿空气经冷却达到饱和后继续制冷的过程，湿空气经过冷却盘管析出水滴从而降低了绝对湿度，起到降湿的作用。因而我们可以将空气处理过程分为加热、加热加湿、制冷、制冷再热和制冷加湿等5个部分，如图1所示。

图 1中 ， 横坐标为含湿量，即每千克干空气所含有的水蒸汽量;纵坐标为温度。由目标状态绝对湿度线、目标温度和目标湿度线以及机器露点的危险警戒湿度线(相对湿度为95%)，可以划分为5个控制状态，详见表to根据 当 地 气候，我们划分了不同的区域，分别为远离工作区(阴影外的区域)、工作区(阴影所示区域)和容限区。在远离工作区将使用大步距逼近的控制方法，工作区将采用本文所讲的智能控制策略，容限内保持各阀门状态。