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摘要：微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一，它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠
斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度，设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的
微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输
出信号，它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化
的微电压信号。
关键词：微机电系统；压阻式；微传感器；测试系统
微机电系统（AQA?）是在微电子相关威廉希尔官方网站
基础上发展起来
的一门多学科交叉前沿学科，它采用半导体工艺威廉希尔官方网站
，把微机
械结构和电路集成在一起，具有体积小、质量轻、功耗低、成本
低等优点。微传感器是最早开始研制的微机电器件，也是微机
电威廉希尔官方网站
中相对最成熟、最早开始产业化的产品。微压力传感器
在整个AQA? 行业，无论是设计研究，还是产业应用中都占主
要地位。就其传感原理来说，微压阻式、微电容式、微谐振式是
当今微压力传感器的# 种最常见的形式。其中，微压阻式结构
最简单，制作工艺及步骤也最容易，缺点是其相关性能不如其
他两种好［&］。
" 微压阻式压力传感器的设计及制作
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