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中图仪器

深圳市中图仪器股份有限公司是一家高新威廉希尔官方网站 企业,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

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中图光学3D表面轮廓仪

型号: SuperViewW1
品牌: 中图仪器(中图仪器)
立即购买

--- 产品参数 ---

  • 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

--- 产品详情 ---

SuperViewW1中图光学3D表面轮廓仪是以白光干涉威廉希尔官方网站 原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

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SuperViewW1中图光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

 

产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

应用范例1.jpg

 

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,中图光学3D表面轮廓仪具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

 

部分威廉希尔官方网站 指标

型号

W1
 
光源
 
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台
 

标配:3孔手动

选配:5孔电动

 

XY位移平台
 

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦

行程

100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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