激光位移测量仪 SJ6000激光干涉仪

激光位移测量仪SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

▲主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

威廉希尔官方网站 规格

注意事项：

平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

激光位移测量仪SJ6000激光干涉仪采用高性能的稳频氦氖激光器，采用迈克尔逊干涉原理的测量仪器。具有测量精度高、量程大、速度快、灵敏度高、抗扰力强等优点。在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。

激光位移测量仪SJ6000激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

特点

1.精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉威廉希尔官方网站 为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频威廉希尔官方网站 ，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

2.功能广

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

可实现龙门机床双轴同步测量；

可实现对机床回转轴的测量与校准；

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

支持手动或自动进行环境补偿。

3.软件强

友好的人机界面；

丰富的应用功能模块；

向导式的操作流程；

简洁化的记录管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企业专属模板定制。

激光干涉仪测量机床直角

如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。

典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。

SJ6000激光干涉仪易操作，方便携带，外形小巧美观方便携带，一套完整的激光干涉仪和镜组只需要装在一个类似于行李箱的工具箱中，整体加起来的重量在18kg左右，再加上一个可以自由伸缩调整高度的三脚架（装在无纺编织袋中），即刻拥有了一套随时随地可用于机械测量的解决方案！激光干涉仪与环境补偿器都有端口和计算机USB接口相连，实时传递检测数据，供计算机检定软件测算，检定过程轻松易掌握，没有复杂的程序设定。