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伯东企业(上海)有限公司

上海伯东是德国Pfeiffer 全系列真空产品,美国 KRI 离子源,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST热流仪代理商

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上海伯东全自动离子刻蚀机 MEL 3100

型号: MEL 3100

--- 产品参数 ---

  • 产地 日本

--- 产品详情 ---

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

全自动离子刻蚀机 MEL 3100
伯东公司日本原装进口全自动离子刻蚀机 MEL 3100, 蚀刻速率 >10(nm/min), 均匀性 ≤±5%, 全自动化系统减少人工操作, 保证产品高稳定性和高质量. 有效减少因人工操作带来的损失!

全自动离子刻蚀机 MEL 3100 特性
全自动化系统
清洁: 钛用于经常暴露于离子束的零件, 以产生低粒子. 晶圆输送盒采用高效空气过滤器.
占地面积小, 方便维护
10.4英寸触摸屏
配置美国 KRI 考夫曼离子源和德国 Pfeiffer 分子泵.
 

全自动离子刻蚀机 MEL 3100



全自动离子刻蚀机 MEL 3100 威廉希尔官方网站 规格.

型号MEL 3100
样品数量尺寸3”φ-6”φ,1片
晶圆输送盒1个, 25 片晶圆
极限真空8x10-5 Pa
均匀性≤±5%
蚀刻速率>10(nm/min) @SiO2

Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
伯东公司超过 50年的刻蚀 IBE 市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀威廉希尔官方网站 ! 

若您需要进一步的了解离子蚀刻机详细信息, 请联络上海伯东叶女士, 分机107


现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
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