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Keyence推出了采用 MEMS微振镜的新款多点式激光传感器IX系列

MEMS 来源:YXQ 2019-04-08 13:46 次阅读

据报道,基恩士(Keyence)推出了采用MEMS微振镜的新款多点式激光传感器IX系列,提供基于相机的目标位置检测。激光跟踪和高度检测系统将激光照射到指定位置,并用其CMOS传感器计算距离。利用MEMS微振镜的高精度控制实现对激光角度调整,基于相机获取的位置信息,即使目标位置移动,也能实时、直接检测多个目标点的高度信息。

对指定检测位置进行激光线扫描,输出多个点的高度数据。然后计算高度数据的平均值,保证数据的稳定性,这对粗糙表面进行检查时尤其有用。

利用对激光光源进行自动调整和CMOS传感器的光接收灵敏度,可实现190万倍的高动态范围,从而确保不受目标颜色或光泽度影响的稳定检测。通过调整光强和光接收灵敏度得到多点高度数据。该数据用于提取优化的综合结果,确保测量结果不受被测零件的反射率影响。

IX系列使在不改变目标位置或方向的情况下进行稳定检测成为可能。实时位置校正消除了对夹具或夹具保持目标可重复性的需求。当传感器探头或目标倾斜时,倾斜校正功能可以对测量值进行校正。通过记录参考平面,实现精确的高度检测。

将使用四种不同照明模式拍摄的图像生成一幅减少眩光的图像,从而确保仅使用内置照明就能捕捉到检测所需的最佳图像。在一个程序中最多可以配置16个检测工具,对给定目标的多个位置执行判断。此外,最多可以保存32个程序并进行切换,以便在生产变更时快速切换。

传感器外壳防护等级为IP67,确保防尘防水;电缆连接器可旋转至330度,便于安装时电缆布线。

谈及IX系列带来的影响,威廉希尔官方网站 营销经理Phil Jarzombeck说:“IX系列不仅允许目标位置变化,而且允许同时进行多次检测,将大大简化组件通过/不通过的检验效率。通过演示,潜在用户将很快意识到他们当前的检验流程是如何过度设计的。”

IX-055的测量范围为45-65mm,重复性为10μm;IX-150的测量范围为100-200mm,重复性为50μm。更多信息,请参阅基恩士官网www.keyence.com。

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原文标题:基恩士发布基于MEMS微镜的多点式激光传感器IX系列

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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