SilTerra开发MEMS-on-CMOS平台扩展新应用

微访谈：SilTerra传感器和MEMS业务高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti

据麦姆斯咨询报道，作为马来西亚最大的代工厂，SilTerra一直在开发其MEMS-on-CMOS平台，并将其扩展到新的应用，例如：医疗和指纹传感器应用的PMUT（压电MEMS超声换能器），时钟器件应用的SAW（声表面波滤波器），以及短距离无线RF（射频）收发器应用的BAW（体声波滤波器）。SilTerra与客户合作提供概念的基本验证、定制器件原型开发、可制造性评估和批量生产。

MEMS Journal最近采访了SilTerra传感器和MEMS业务高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti，在这篇访谈中讨论了SilTerra的历史，目前的MEMS规划以及未来的发展路线图；此外双方还探讨了由光学、RF和超声波MEMS器件赋能的新兴应用。MEMS Journal：请您介绍一下SilTerra的MEMS发展历史，以及工艺能力的发展。Arjun Kumar：SilTerra的MEMS历史始于2010年。我们的第一个MEMS开发项目是微镜阵列，用于数字投影仪中的显示芯片。我们将这款MEMS器件集成于我们的0.18微米CMOS工艺威廉希尔官方网站 。我们开发了可制造的工艺，并实现了可重复的良率。第一款产品是客户专有的器件，1 MPixel WXGA。随后，我们在2011年开始开发我们的MEMS-on-CMOS器件架构，以构建RF MEMS集成解决方案平台。在我们的平台上制造的谐振器件覆盖了从10 MHz到2.4 GHz的各种参考频率。我们还在2015年启动了超声波MEMS项目，以满足指纹传感和医疗成像细分市场不断增长的应用需求。

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件

MEMS Journal：是什么推动你们开始提供MEMS代工服务？Arjun Kumar：SilTerra主要是一家提供先进逻辑、BCD、RF CMOS的CMOS代工厂，我们启动MEMS代工服务计划，是为了通过附加MEMS模块补充现有的产品组合，以增强产品功能。MEMS Journal：SilTerra及其MEMS业务的愿景是什么？未来五年， SilTerra及其MEMS业务将会如何规划？Arjun Kumar：我们的愿景是提供一个成熟的MEMS-on-CMOS平台，以便面对即将兴起的物联网和自动驾驶汽车市场，提供至关重要的各种MEMS器件和传感器。我们还将通过我们的MEMS代工服务模式，继续支持客户驱动的工艺开发。SilTerra的目标是在5年内将MEMS业务营收提高到总营收的20%。

MEMS Journal：与其他MEMS代工厂相比，你们的核心优势是什么？强在哪些方面？Arjun Kumar：我们独特的优势在于我们简单易用的MEMS-on-CMOS平台，以及我们在预处理CMOS晶圆上构建各种MEMS器件的能力。此外，我们为光子学和生物光子学应用制造复杂的芯片，这些芯片使用与MEMS器件非常相似的工艺模块，从而使我们能够达成良率和可靠性学习曲线。此外，我们还使用缺陷密度监测测试结构来不断提高良率。我们还为客户特定的器件架构开发可制造的工艺模块，以验证其概念验证，并提供产能以支持其产量要求。MEMS Journal：你们近期增加了哪些新MEMS工艺？安装了哪些新的MEMS设备？Arjun Kumar：我们最新推出的是PMUT工艺，可以在我们的180nm或130nm平台上构建。我们应该是最早提供单片PMUT制造服务的公司之一。最近，我们添置了“释放机台”，并且正在采购第二台压电沉积设备。MEMS Journal：你们有哪些拓展或升级计划？请您介绍一下未来1~2年的威廉希尔官方网站 和工艺开发规划。Arjun Kumar：我们将为微流控应用和工业传感器应用的基于SOI的PMUT平台，添加用于高深宽比硅蚀刻的工艺模块。MEMS Journal：到目前为止，你们的工厂制造了哪些类型的MEMS器件？目前的产能如何？Arjun Kumar：我们目前制造的MEMS器件包括：光学MEMS（微镜阵列芯片）、RF MEMS（静电谐振器、SAW谐振器和BAW谐振器）、超声MEMS（PMUT）和MEMS运动传感器（加速度计）。我们的8英寸MEMS产能约每月3000片，另外，我们的CMOS产能为每月40000片。我们的MEMS产能增长，计划与MEMS产品的市场接受度保持一致。MEMS Journal：你们如何开发集成MEMS解决方案？你们的合作伙伴有哪些？如何与他们有效合作？Arjun Kumar：构建集成MEMS器件非常具有挑战性。在集成MEMS器件及其可制造性方面，我们已经投入了超过5年，开发了一些创新的工艺模块，可以与ASIC晶圆无缝集成。为了提供完整的解决方案（不仅仅是晶圆加工），我们与全球的IC设计专家、研发组织、学术机构和半导体组装厂合作。我们的团队专注于为特定市场提供解决方案，如时钟器件、射频和成像等。

MEMS Journal：时钟相关应用你们重点关注什么？目标是哪种频率和用例？Arjun Kumar：我们主要专注于使用我们的薄膜声波谐振器威廉希尔官方网站 提供单片参考振荡器。我们与合作伙伴合作，展示了320 MHz集成相位抖动为160 fs（12 kHz至20 MHz）的参考时钟。我们的目标产品是消费类和汽车应用的可编程声振荡器（AO）。MEMS Journal：你们正在开发哪种类型的RF MEMS应用？Arjun Kumar：我们已经展示了一款高频振荡器（QFN封装的2.4GHz FBAR振荡器，集成相位抖动为358 fs）。我们正在开发集成高频RF收发器。MEMS Journal：您现在关注到哪些极具吸引力的MEMS成像应用？Arjun Kumar：PMUT正在成为便携式医疗成像应用、手势控制和指纹传感的新兴产品。MEMS Journal：指纹传感器的最新趋势是什么？Arjun Kumar：最新的趋势是将指纹传感器安装在玻璃显示屏下，PMUT威廉希尔官方网站 支持玻璃下的指纹传感，对于仿冒指纹高度安全。SilTerra的PMUT-on-CMOS工艺平台将成为该领域极具吸引力的解决方案。