据***《经济日报》消息,台积电3nm工厂通过***环保署的环境评测环评大会。依据原定时程,全球第一座3nm厂有望在2020年动工,最快2022年底实现量产。
目前台积电的7nm工艺已经量产,台积电计划2019年投产改进版本,将首次使用EUV极紫外光刻威廉希尔官方网站 。此外,5nm工艺 将在2019年第一季度投入风险性试产,量产时间未定,估计也就在2019年年内。
台积电表示,5nm会在***南部科技园(STSP)的工厂里投产,但后续产能扩充仍要视环境评估而定。
而对于3nm工艺,但工厂的选址一直悬而未决。
自从2016年台积电宣佈将发展3nm制程后,已经投入了数百名工程师。不过,对于3nm工厂的选址问题,台积电便一直在评估,甚至将美国纳入考虑。随后在***政府承诺解决水电等相关问题后,也考量到对***经济的重要性,台积电最后终于宣布将新厂将落脚在***的南部科学工业园区台南园区。
台积电对3nm量产时程一直保密,除了防止对手三星加快投资脚步,也是因为环评案未过关,避免横生波折,如今随着3nm环评案通过,让台积电可以顺利兴建晶圆18厂第四到六期新厂。
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原文标题:台积电3nm工厂通过环评,最快2022年底量产
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