“11月29日,中科院光电威廉希尔官方网站 研究所宣布国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,成为全球首台用紫外光源实现的22纳米分辨率的***。”
这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。
该***由中国科学院光电威廉希尔官方网站 研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光威廉希尔官方网站 后,可用于制造10纳米级别的芯片。
超分辨率光刻镜头
项目副总设计师胡松介绍,中科院光电所此次通过验收的表面等离子体超分辨光刻装备,打破了传统路线格局,形成一条全新的纳米光学光刻威廉希尔官方网站 路线,具有完全自主知识产权。
项目副总设计师胡松研究员介绍超分辨光刻装备研制项目攻关情况
本次“超分辨光刻装备研制”通过验收,是中国科学院光电威廉希尔官方网站 研究所多年的威廉希尔官方网站 积累结晶。
该***制造的相关器件已在如下科研院校的重大研究任务中取得应用。
中国航天科技集团公司第八研究院;
四川大学华西医院;
中科院微系统所信息功能材料国家重点实验室。
中科院光电所科研人员操作超分辨光刻设备
“ASML的EUV***使用的13.5纳米的极紫外光源,价格高达3000万元,还要在真空下使用。”项目副总师胡松说,“而我们使用的365纳米紫外光的汞灯,只要几万元一只。我们整机价格在百万元级到千万元级,加工能力介于深紫外级和极紫外级之间,让很多用户大喜过望。”
如此低成本的***,一旦量产,结合中国经济上的庞大需要,再结合中国庞大的理工人才,一个低成本的光刻工具,将造就一条极其庞大完备的芯片产业链。
不过,就此鼓吹中国打破ASML在高端***上的垄断未免为时过早。
ASML公司简介
ASML,中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国***)。是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML一家独大,占有大约80%的市场份额。
台积电、三星、英特尔等国际半导体巨头都是其客户,并且也都开始试验使用这种EUV设备生产芯片,以便能在更小芯片面积内,布局数量更多的晶体管,从而让计算设备速度更快。
毕竟目前该***制造的相关器件主要还是用于专用领域和特殊领域,距离商业化量产还需一段时日。
不过无论如何,这种关键威廉希尔官方网站 ,都是一种战略资源,可以不先进,也可以不成熟,但是“有它或者无它“,对国家安全的影响却是有天壤之别的。
其实在美国封杀中兴之际,ASML就声称将于2019年为中芯国际交付一台EUV***。那时我们就推断,西方国家判断我国的***威廉希尔官方网站 即将取得突破。
现在来看,果是如此。
西方总是会在我们掌握了威廉希尔官方网站 的“前一天”,很及时地送上并不过时的威廉希尔官方网站 。
但是我们并不能因此而自废武功,自主研发的脚步一刻不能停下。不能让“运十“悲剧重演。
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原文标题:“超分辨光刻装备项目”通过国家验收,可加工22纳米芯片
文章出处:【微信号:China_Chip,微信公众号:国产芯片818】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。
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