曝光机操作注意事项及规程

曝光机是什么

紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

曝光机工作原理

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

曝光机用途

更广范围（UV，DUV，NUV）的紫外光波长选择，出射光强范围：8mW/cm2~40mW/cm2。

支持恒定光强或恒定功率模式。

广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。

常见曝光机举例：MYCRO美国制造的恩科优（N&Q）紫外曝光系统，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

曝光机操作注意事项及规程

一、开机前注意事项：

1、检查气密调压阀﹑辅助气缸压力阀﹑灯头吃气流量计显示器是否正常，各光电按钮是否灵敏；

2、检查冰水水箱水位是否在限值范围内;水泵电源开关﹑真空电源开关的状态是否正常；

3、检查机器台面﹑曝光框内（外）﹑履带线槽﹑传动皮带是否有异物或者堵塞。

二、操作时注意事项：

1、开机程序：主电源灯室冰水机冷风扇点灯；

2、检查机台开机后冰水机有无开启，上（下）水套是否正常；

3、点灯达到稳定状态后，电流﹑电压是否达到正常值；

4、若出现停水时，应立即停止生产，将灯管熄灭，进行维修检查；

5、若停点立即关闭主电源；

6、曝光灯管出现异常时，必须停机短电进行更换作业；

7、若有紧急情况发生时，按下“紧急停止按钮”，然后关闭设备，紧急情况处理完毕后，依开机程序开启机器；

8、新员工（无上岗证）不可单独作业，须由辅导员在现场指导。

三、关机注意事项

1、关机前，先确认灯管是否在熄灯状态；

2、熄灯后不可立即关闭冰水泵，须等待15分钟，灯管冷却后方可关闭冰水泵；

3、确认曝光框架是否关闭；

4、检查机台后方冷凝水是否已满。并清理承接桶内的冷凝水；

5、做好工作区域的“6S”工作。

四、维修保养注意事项：

1、进行保养作业时，必须保持曝光机为停机状态；

2、进行维修保养作业时，必须穿带必要的防护用品；

3、机器设备维修时，应在开机按钮处张贴“机器维修中，请勿启动”等标识；

4、机器设备维修时，禁止其它人员对电脑软件进行操作；

5、保养时，检查气缸的压力和密闭性，水箱是否漏水或堵塞；

6、检查各部位滑动轨道及滑座润滑度；

7、检查各部位电源配线连接有无松脱断裂；

8、检查灯管灯座连接是否松脱或接触不良。