王曦带团队制出国际一流的SOI晶圆片并荣获上海市科技功臣奖

他是谁?
在许多人眼中，中科院院士、中科院上海微系统与信息威廉希尔官方网站 研究所所长王曦既是一位具有全球视野的战略科学家，也是一位开拓创新而又务实的企业家。他带领团队制备出了国际最先进水平的SOI晶圆片，解决了我国航天电子器件急需SOI产品的“有无”问题，孵化出我国唯一的SOI产业化基地。

他在上海牵头推进了一批半导体重大项目——12英寸集成电路硅片项目有望填补我国大尺寸硅片产业空白。3月23日，王曦荣获上海市科技功臣奖。

从下围棋中得到启发

空间辐射会对卫星造成影响，王曦团队制备出国际一流的SOI晶圆片，解决了这一问题。SOI威廉希尔官方网站 被称为“21世纪的硅集成电路威廉希尔官方网站 ”，王曦打了个比方：“这就像是三明治，在两层硅的中间，包裹着一层二氧化硅。”最上面的硅既要薄，还要均匀，比如12英寸硅片的均匀度，相当于从巴黎到上海的一次飞行，其振动幅度不能超过1.5厘米。2001年7月，王曦提出把这一威廉希尔官方网站 推向市场，建成了我国第一条SOI生产线。这引起了美国硅谷《半导体商业新闻》的注意，他们惊呼：中国出现了一个现代化的SOI工厂。

王曦喜欢下围棋，因为只要善于谋篇布局，做的“势”就会越来越大。在推进上海半导体产业发展这盘“棋”时，王曦一直在应势布局。目前全球仅五家企业有能力量产12英寸大硅片，我国市场100%依赖进口。缺少这一材料，我国集成电路产业就还只是停留在中低端水平。2013年6月，王曦和中芯国际创始人张汝京共同建言，在上海启动12英寸大硅片的研发。应运而生的上海新昇科技有限公司，去年实现大硅片量产，销售近10万片。

跨越科技成果转化“死亡之谷”

曾经在硅谷创办了两家公司的杨潇在创建上海微威廉希尔官方网站 工业研究院时，为是否要企业化运作感到纠结，当时最大的困难就是经费问题，而最简单的办法是成立事业单位。王曦却下定决心要探索企业化的新路径，来跨越科技成果与产业界之间的“死亡之谷”。如今这一共性化威廉希尔官方网站 平台，已实现85%的收入来自产业化。

上海硅产业投资有限公司执行副总裁李炜与王曦共事20年，对其运筹帷幄的能力感佩不已。2001年王曦带领6个博士创立新傲公司，当时的家底是1300万，现在的市值是13亿，增加了100倍；2016年，占全球高端硅材料市场70%份额的法国公司Soitec，由于副业经营不善濒临破产，王曦看中其硅材料的生产能力，由上海硅产业投资有限公司对其参股。当时的股价成本是9.2欧元，现在最高时涨到了70欧元，投资回报率达600%。

让科学家心无旁骛做研究

去年9月26日，张江实验室挂牌成立，王曦担任主任。“我一直有个梦想，让科学家心无旁骛做研究。接下来，张江实验室会有许多体制机制创新，包括科研经费的使用。”王曦比过去更忙碌了，同事们形容他的工作节奏是“5+2”“白加黑”，凌晨两三点收到他发来的邮件再正常不过。

“中国的蓬勃发展成就了上海微系统所走过的传奇之路。”王曦说，当年为了把SOI晶圆片卖出去，他们想和法国公司Soitec谈合作，结果对方不予理睬，只能在对方公司门口留个合影。如今，王曦成为了这家公司的董事。过往已经归零，明日征途漫漫。“我以前是无知无畏，现在虽然有困难，但看到了方向，也就更加有激情。”