集成电路新建项目机电二次配设备安装与连接环节有哪些注意事项？

集成电路新建项目机电二次配设备安装与连接环节有哪些注意事项？-江苏泊苏系统集成有限公司

设备安装与连接是集成电路新建项目机电二次配施工流程中的关键环节，以下是该环节的一些注意事项：

1，设备搬运与就位

（1）设备防护：在搬运设备前，需对设备进行全面防护，避免在搬运过程中受到碰撞、刮擦或损坏。对于精密设备，要使用专门的防护包装，如气垫、泡沫等进行包裹。

(2)搬运工具选择：根据设备的重量、尺寸和形状，选择合适的搬运工具和设备，如叉车、吊车、平板车等。确保搬运工具的承载能力和性能满足设备搬运的要求，并由专业人员操作。

(3)就位精度控制：设备就位时，要严格按照设计要求和设备安装手册进行操作，使用精确的测量工具，如水准仪、经纬仪等，控制设备的水平度、垂直度和位置偏差。对于高精度的集成电路生产设备，就位精度可能要求达到微米级别。

2,设备安装固定

(1)基础处理：设备安装的基础必须牢固、平整，符合设备的承载要求。在安装前，要对基础进行检查和验收，确保基础的尺寸、强度、平整度等指标符合设计标准。对于一些大型、重型设备，可能需要进行特殊的基础处理，如加固、减震等。

(2)固定方式选择：根据设备的类型和特点，选择合适的固定方式，如地脚螺栓固定、焊接固定、膨胀螺栓固定等。固定螺栓的规格、数量和拧紧力矩应符合设备安装要求，确保设备在运行过程中不会发生位移或振动。

(3)减震措施：为减少设备运行时产生的振动对周边环境和其他设备的影响，对于一些高精密设备或容易产生振动的设备，需要安装减震器或采取其他减震措施。减震器的选型和安装位置应根据设备的振动特性和设计要求进行确定。

3,电气连接

(1)接线规范：严格按照电气规范和设备接线图进行电气连接，确保电线电缆的选型正确、敷设整齐、连接牢固。接线端子要拧紧，避免出现松动、虚接等现象，防止因接触不良而产生发热、打火等安全隐患。

(2)接地与防雷：设备的接地系统必须可靠，接地电阻应符合设计要求。接地线路要单独敷设，避免与其他电气线路混合，防止接地故障影响设备的正常运行和人员安全。同时，根据项目所在地的雷电情况，采取相应的防雷措施，如安装防雷器等。

(3)线缆标识：在电气连接完成后，要对电线电缆进行清晰、准确的标识，注明线缆的用途、起点、终点、规格等信息，以便于后期的维护和管理。

4,管道连接

(1)管道清洁与吹扫：在管道连接前，必须对管道内部进行清洁和吹扫，去除管道内的杂质、油污、灰尘等异物，确保管道内部干净、无堵塞。对于一些特殊的工艺管道，如工艺气体管道、高纯水管道等，还需要进行严格的脱脂、酸洗、钝化等处理。

(2)连接方式与密封：根据管道的材质、介质和压力等要求，选择合适的连接方式，如焊接、法兰连接、螺纹连接等。在连接过程中，要确保连接部位的密封性，使用合适的密封材料，如垫片、密封圈等，并按照规定的扭矩拧紧连接螺栓。

(3)管道坡度与排水：对于有坡度要求的管道，如给排水管道、冷凝水管道等，要严格按照设计要求控制管道的坡度，确保管道内的液体能够顺利排放，避免出现积水现象。

5，系统联动与调试准备

（1）设备检查与测试：在设备安装与连接完成后，要对设备进行全面的检查和测试，包括设备的机械性能、电气性能、安全性能等方面。检查设备的运行参数是否正常，各部件之间的配合是否良好，确保设备在进入系统联动调试前处于最佳状态。

（2）与其他系统的接口协调：集成电路生产涉及多个系统的协同工作，设备安装与连接完成后，要与其他相关系统进行接口协调和联调测试。确保设备与电气系统、暖通系统、工艺气体系统等之间的信号传输、控制逻辑、运行参数等方面相互匹配、协调一致。