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CMS系列连接器在晶圆级电性参数测试设备中的应用

腾方中科高密连接方案 2024-11-09 03:00 次阅读

01应用场景

集成电路产品开发、工艺制造和产品验证过程中,对电性参数测试的需求日益提高。芯片设计类企业、代工制造类企业、垂和研发实验室,都需要完成多种测试任务,需要高效、精确地提取器件和工艺相关的电性参数,实现以数据驱动芯片产品的功耗-性能-面积-成本(PPAC) 优化、可靠性以及成品率提升。

常见的电性测试参数:

电流:测试精度0.1pA以下,最小分辨率0.1fA,最大范围1A

● 电压:测试精度0.1mV以下,最小分辨率0.1 µV,最大范围200V

电容:测试精度0.01pF,最大范围100nF, 支持C-V扫描

为满足这些高精度的测试需求,客户采用PXIe的模块化仪器,配置了SMU,pulse Generator,Signal Analyzer,Switch Matrix,LCR表。如下图

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02

问题和难点

1,PXIe的高密度板卡如何连接,保证信号的测试精度

2,多台系统设备如何保证一致性,保证测试结果的准确性

3,测试如何需要保证一定的通用性,可以适配类似的被测物

03解决方案

1,采用腾方中科的CMS系列海量互连产品,确保产品形成通用平台,可更换适配器,完成多类测试;

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2,跟PXI板卡的连接采用DAK直连盒的方式,保证信号的精度和一致性

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3,因为电流是PA,电容是PF,非常微弱的信号,适配器也采用PCB的方式,缩短矩阵和SMU间的连线,最大化降低信号的衰减,同时PCB的一致性也能很好的保证系统间的测试结果一致。

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