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石墨舟氮气柜:半导体制造中的关键保护设备

沐渥科技 2024-11-04 16:40 次阅读

石墨舟是一种由高纯度石墨材料制成的设备,广泛应用于半导体器件、太阳能电池片等的制造过程中,用于承载硅片或其他基板材料通过高温处理。石墨舟因其优异的导电性和热稳定性而成为这一领域的理想选择。然而,石墨舟对环境条件十分敏感,特别是对空气中的氧气和湿气。

存放条件的重要性
防氧化:石墨舟在空气中容易与氧气发生反应,尤其在高温处理后更加敏感。长期暴露于空气中会导致石墨舟表面性质改变,影响其使用性能。
防潮:石墨舟具有一定的吸附性,在潮湿环境中会吸收水分,进而影响其性能。
防污染:存放环境应保持洁净,避免灰尘或污染物的积累,以免影响石墨舟的纯净度。
防紫外线:避免石墨舟直接暴露在阳光下,因为紫外线可能对石墨材料造成损害。

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石墨舟氮气柜的特点与功能
防氧化保护:通过充入氮气来降低柜内氧气浓度,有效防止石墨舟表面氧化。
防潮防湿:创造一个干燥的环境,避免湿气对石墨舟的影响。
精确控制气体环境:配备精确的氮气流量控制和监测系统,可调节和监控柜内氮气浓度、湿度、氧气含量等参数
高质量密封材料:采用高质量的密封材料,提高柜门、接口等部位的密封性,减少氮气泄漏。
耐腐蚀、耐高温材料制造:通常使用不锈钢材质,具备良好的耐腐蚀性能、高强度、易于清洁和维护。
智能化操作:配有智能化控制系统,支持触摸屏或电子键盘操作,提供氮气浓度调节、温湿度监测、报警提示等功能。
安全保护:具备安全保护功能,有效预防事故和物料泄漏。

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使用注意事项
轻拿轻放:石墨舟较为脆弱,应避免摔落和碰撞。
清洁烘干:存放前需清洁并烘干石墨舟,去除表面的氧化层和污垢。
石墨舟氮气柜是确保石墨舟性能和使用寿命的关键设备,尤其在半导体、太阳能光伏、LED、电子、化工等行业中,它对于保护材料或产品免受潮湿、氧化和污染具有重要作用。石墨舟氮气柜的设计和制造遵循严格标准,确保其在高科技制造业中的耐用性、清洁度及安全性,对提高生产效率和产品质量至关重要

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