九年纠纷终和解，国产BAW滤波器发展势不可挡

电子发烧友网报道（文/黄山明）近日，国内专注BAW滤波器的企业诺思（天津）微系统有限公司（以下简称诺思）突然公开放出一则消息，宣布已与美国安华高（博通）达成全面和解。这轮历时九年的纠纷，终是落下了帷幕。与此同时，国内BAW市场发展的脚步并未停歇，伴随着诺思与博通的和解，为国产BAW的发展加上了一个助推器。

打破国内BAW滤波器空白，但被压制了9年

BAW（Bulk Acoustic Wave，体声波）滤波器，是射频前端模块中的关键组件之一。并且因为BAW尤其适用于2.5GHz以上的高频应用，因此它们在5G通信中尤为重要，因为5G威廉希尔官方网站 使用的频段远高于传统4G网络。

因此随着5G商用及物联网应用的爆炸性增长，BAW滤波器的需求显著增加。射频前端模组化已经成为产业趋势，预计到2025年，射频前端模组市场将达到177亿美元，约占射频前端市场总容量的69%。

威廉希尔官方网站 上BAW滤波器在温度敏感性、插入损耗特性以及频段和宽带表现方面具有独特优势。这些特性使其在中高频段通讯中表现尤为出色，符合5G等高频通信的需求。

作为射频前端中最重要的分立器件，滤波器的作用是为了使信号中特定频率成分通过，将其余频段的信号滤除，从而提高信号的抗干扰性及信噪比，除了射频前端，也被广泛应用于通讯基站、回传链路、卫星通信、航空航天、有线宽带等各个通信相关的领域。有机构测算，BAW滤波器的成本大约是SAW滤波器的2-10倍。

但高端射频滤波器芯片长期被国外垄断，尤其在BAW上，国外的IDM大厂和专业设计公司凭借其威廉希尔官方网站 积累和专利布局，形成了较高的行业壁垒。如博通、Skyworks、Qorvo、NXP、TDK、TI、英飞凌等海外企业，其中博通一家独大占据了87%的市场份额，而Qorvo则以8%的份额位列第二。

好消息是，尽管在射频芯片领域国内起步较慢，但并不意味着国内的威廉希尔官方网站 远远落后。比如2011年成立的诺思，成为了中国首家FBAR（射频前端薄膜体声波滤波芯片）生产企业，也是国内少数的专注FBAR滤波器的拥有IDM模式的厂商，建有亚洲首座具有完全IP的FBAR晶圆厂。成功打破了欧美国家的威廉希尔官方网站 垄断，并填补了国内在FBAR上的空白。

巧合的是，诺思微系统创始人张浩在2015年前往美国参加学术会议时，在洛杉矶国际机场被美国以“经济间谍罪”的名义逮捕，博通指控张浩和另一创始人庞慰涉嫌窃取公司滤波芯片的相关资料，并以此为基础在中国成立了诺思微系统。

自此，长达九年的诉讼便开始了。好在诺思并未因诉讼而停止研发，其后还推出了多款5G产品，包括全球首款小尺寸5G n41 BAW滤波器、全球首款高功率容量BAW滤波器以及应用于5G射频前端的超小型声波滤波器产品系列USH BAW。

直到近期，诺思公开宣布，公司已与博通达成全面和解，更重要的是，双方就某些中国专利达成交叉许可。就同一天诺思上架了一款北斗商用最尖端的FBAR滤波器，并从经销商的消息来看，2022年四季度，月产能已经可以达到80KK，足以证明国产BAW滤波器并未停下发展的脚步。

小步快跑的国产BAW滤波器

BAW滤波器因其在中高频段的出色性能，如低插入损耗和高带外抑制能力，在5G通信、物联网（IoT）、汽车智能化等领域的需求日益增加。而近几年中美贸易形势的恶化，让国产替代的浪潮愈演愈烈。

除了诺思，当前国内已经有不少机构和企业在滤波器有所积累。比如在2022年，武汉敏声与赛微电子合作共建的8英寸BAW滤波器联合产线已宣布实现全面通线，具备了进行下一步产能爬坡、良率提升及大规模量产的基础。

同时在2023年，赛微电子官宣，其首款基于MEMS威廉希尔官方网站 的国产BAW滤波器实现量产，并透露该BAW滤波器产线初期产能为2000片晶圆/月，后期将扩展到10000片晶圆/月水平。

赛微电子也在近期回复投资者提问时表示，公司所制造的BAW滤波器可以应用于在5G、5.5G、6G不同网络世代背景下的基站、路由器、手机以及各种类别的无线连接终端，具体性能指标及应用领域取决于客户需求。

而开元通信在2019年推出的“矽力豹”品牌系列5G n41频段的高性能BAW滤波器产品，是国内芯片厂商在5G BAW滤波器的首次突破，也是当时国内唯一量产的8英寸BAW产品。

麦捷科技也在近期与互动平台上回复投资者表示，公司的BAW滤波器在设计方案后仍需进行流片测试，每轮流片大致用时3-4个月。此外，还有如苏州汉天下、华芯等企业也拥有对BAW滤波器的威廉希尔官方网站 积累。

如汉天下的BAW滤波器出货量已经达到1亿颗，并在射频模组化方面持续发力。武汉敏声则在高钪掺杂氮化铝（ScAlN）全流程工艺上取得突破，成功研发出适用于5G频段的BAW滤波器。

据Yole预测，随着5G商用及物联网应用的爆炸性增长，BAW滤波器的需求显著增加。射频前端模组化已经成为产业趋势，预计到2025年，射频前端模组市场将达到177亿美元，约占射频前端市场总容量的69%。

当然，由于国内企业起步较晚，如博通和Qorvo等国外企业，长期占据市场主导地位，拥有大量专利和威廉希尔官方网站 积累。这些公司的专利布局广泛且深入，形成了较高的威廉希尔官方网站 壁垒。好消息是近年来一些国内的企业开始打破了一些威廉希尔官方网站 和生产上的瓶颈，如武汉敏生一具备完整的自主知识产权，已经注册白宇翔专利，建立了多维度多层次的专利壁垒。

而诺思更是拥有300多项威廉希尔官方网站 专利，覆盖设计、材料、结构、工艺、封装、测试等各个领域，在射频前端领域实现了威廉希尔官方网站 领先优势。比如诺思近期在慕尼黑上海电子展出的多款高性能ICBAR滤波芯片，包括超小尺寸、高功率、高频大带宽（Kt²＞21%）等全新解决方案。

此外，国内另一家掌握5G中高频BAW芯片制备及关键装备核心威廉希尔官方网站 的企业艾佛光通，更是成为国内唯一、全球第三家具有独立知识产权的5G通信核心元器件体声波滤波芯片生产能力的企业。

该企业在广州、河源两地建成了国内首条8英寸BAW滤波芯片IDM产线，产品关键性能较美日等竞品提高20%，并获多家国内外知名移动终端厂商、手机代工厂以及5G基站供应商的大规模采购使用。


值得注意的是，艾佛光通的核心产品“SABAR®”（单晶AlN高频BAW滤波器），完全有别于FBAR滤波器威廉希尔官方网站 路线，各项威廉希尔官方网站 指标已达到国际领先水平，备受国内外知名通讯终端企业青睐。有消息显示，该条产品的芯片生产线已实现稳定量产，年产值达15亿元。

写在最后

作为掌握全球大多市场份额的博通，在近期与诺思和解，并提到双方就某些中国专利达成交叉许可。至少可以认为，中国企业在BAW威廉希尔官方网站 上，已经得到了国外领先企业的认可。

而如艾佛光通另辟蹊径的SABAR®，也让国内的BAW威廉希尔官方网站 有了新的方向。可以肯定的是，国产BAW滤波器的发展已经势不可挡。