中国企业北京北方华创微电子装备公布“承载装置及半导体工艺设备”发明专利(专利号:CN117987807A),申请日为2024年5月7日。该专利提供了一种新型承载装置和配套半导体工艺设备, 应用在半导体威廉希尔官方网站 领域。
此项新实用新型的承载装置主要由承载件、第一气道和限位组件组成。承载件设有晶圆容纳槽,底部为承载面,第一气道的出气口设在此面上,用于通气使晶圆保持悬浮状态。同时,承载件边缘设置有多个滑道,环绕着容纳槽排列,内部还设有多个第二气道,与滑道相连。而限位组件则包含多个与晶圆外缘周面接触的限位件,这些限位件可以沿着滑道滑动,通过控制第二气道的气流方向来调整其位置。
此外,该专利还提出了一种配套的半导体工艺设备,其中就包括了上述承载装置。这种设计能有效解决因托盘与晶圆间间隙不均导致的晶圆膜厚不均等问题。
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
晶圆
+关注
关注
52文章
4899浏览量
127947 -
半导体威廉希尔官方网站
+关注
关注
3文章
237浏览量
60709
发布评论请先 登录
相关推荐
北方华创自研射频电源批量应用于多款产品
近日,北方华创在互动平台宣布了一项重要进展:公司自主研发的射频电源已成功批量应用于多款产品中,标志着其在半导体核心部件国产化道路上迈出了坚实的一步。随着国内零部件供应商能力的显著提升,
北方华创微电子装备公司取得一项温度控制专利
本发明涉及一种用于半导体工艺设备的温度控制装置和方法,具体包含第一温控源、第二温控源、第一输出管道、第二输出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道以及控制器等部件。
北方华创微电子获加热器及设备专利
这项申请致力于提供一种半导体设备的新型加热器及其适用范围,包括了加热盘和第一冷却元件两个关键部件。其中,加热盘被设计成可放置在半导体设备的腔体内,其底部设有开口,使第一空腔能够与外部空
北方华创微电子:晶圆清洗设备及晶圆定位装置专利
该发明涉及一种晶圆清洗设备及晶圆定位装置、定位方法。其中,晶圆定位装置主要用于带有定位部的晶圆定位,其结构包括密封腔体、密封盖、承载组件、定位组件和导向组件。
北方华创微电子装备有限公司“半导体设备及其晶舟”专利公布
具体来说,这种晶舟包括副晶舟支架,能够在批量半导体工艺处理达到预定进度时,以上下层叠的方式支撑多个晶圆,使其暂时离开主晶舟支架。当主晶舟支架旋转至特定角度后,副晶舟支架会进行复位操作,让晶圆重新回到主晶舟支架。
北京北方华创微电子装备公司研发新型电源控制威廉希尔官方网站 与装置、半导体
此项威廉希尔官方网站
主要涉及到电源控制以及半导体工艺设备领域。具体而言,该专利包括如下步骤:首先,启动待控制电源;接着确定该待控制电源是作为上极电源还是下极电源工作;然后,获取待控制电源的反射功率信息;
北方华创微电子装备公司半导体工艺设备传输腔室专利公示
此项专利主要涉及半导体工艺威廉希尔官方网站
领域的设备改进,包含腔室主体、机械手和环状体等部件。其中,机械手的固定端与腔室主体的底壁紧固衔接;而环状体则呈环绕状布置在腔室主体底部,并围绕着机械手的旋
邑文科技完成超5亿元D轮融资,专注半导体前道工艺设备研发
作为一家专注于半导体设备研发的高新威廉希尔官方网站
企业,邑文科技创立于2011年,其核心业务包括半导体前道工艺设备的各项研究与生产。重点作品包括用于半导体
智程半导体完成股权融资,专注半导体湿法工艺设备研发
智程半导体自2009年起致力于半导体湿法工艺设备研究、生产与销售事业,10余载研发历程,使得其已成为全球顶尖的半导体湿法设备供应商。业务范围
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线
北方华创最近研发出了一款12英寸高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备,名为Orion Proxima,并已正式进入客户端验证阶段。这一创新标志着
华微电子荣获实用新型专利授权,使晶圆脱膜更稳定可靠
近日,华微电子再次涉足半导体科技创新领域。公司成功获批“晶圆脱膜辅助装置”实用新型专利,这将极大程度上提升晶圆脱膜的效率与质量。值得一提
京东方华灿拟采购北方华创Micro LED相关设备
近日,京东方华灿发布公告称,公司全资子公司广东华灿和浙江华灿拟使用募集资金向关联方北方华创购买生产设备
评论