华芯智能装备为半导体AMHS提供国产领先解决方案

AMHS，全称自动化物料传送系统，是半导体智能制造的重要一环。一个典型晶圆厂Fab内，多类型工艺设备需要紧密联动完成数以千计的工序流转，保证产能及产品良率。如何安排物料流转，实现在更短的时间、复杂的生产环境中找到实时最优且柔性的自动化方案，打造真正的Fully Auto晶圆厂——AMHS是12寸、8寸及化合物半导体的最优解决方案。

无论是前道厂还是封测厂，通过天车传输都能最大化地面空间利用，同时具备快速、稳定、高精度和高洁净度的传输能力，从而最大程度地确保人、机、料的安全。此外，配备了智能算法的物料控制系统（MCS）和天车控制系统（MOC），能够实现对整厂物料的可追溯性。这为工厂管理者提供了可靠、实时的数据统计报告和传输改进建议，有助于提高产线自动化效率。

华芯（嘉兴）智能装备有限公司（“HIMC”)是一家以半导体AMHS国产替代为立足点，利用核心自主知识产权，为客户提供专业可靠、自主可控的泛半导体智能制造解决方案的综合服务商。华芯智能为客户提供高精度、高稳定性的先进制造整厂自动化规划、改造、实施、运维全流程服务，公司已获评“浙江省专精特新中小企业”、“嘉兴市高新威廉希尔官方网站 研究开发中心”，同时为SEMI协会半导体智能制造委员会成员。

自2016年起，华芯智能即致力于半导体AMHS、晶圆搬运自动化设备及关键零部件等产品的自主研发、 生产、销售及售后维护，已构筑围绕 FAB 厂物料传送为核心的完整产品矩阵，包括以 OHT、Stocker、Lifter等核心部件为主的AMHS（自动化物料传送系统），以 Sorter、EFEM、Load Port 等为主的晶圆搬运自动化设备产品序列，以及以物料管控、搬运派工为主的软件产品 MCS、MOC及机台端控制软件。

作为国产领先的AMHS供应商，华芯智能全系产品均在半导体头部客户量产线完成验证及压力测试，可靠性、传输精度均获好评。公司核心知识产权及威廉希尔官方网站 架构均自主可控，可满足客户多样化定制需求。全系产品均获SEMI认证及ISO9001质量管理体系认证。

半导体产业链自主化将会是未来的主旋律。AMHS作为晶圆厂整厂高精自动化系统，掌握核心生产数据及产线动态，具有战略意义。提供国产领先的AMHS智能制造解决方案、实现中国智造是华芯智能一直以来的重要驱动力。此次，华芯智能将出席2024 SEMI-e第六届深圳国际半导体展，在更高维度、更深层次上赋能半导体制造业高质量发展。

展品推荐

1

半导体AMHS天车系统-第四代天车“飞兔”

华芯提供晶圆厂AMHS天车系统全系列产品——OHT、Stocker、Lifter、OHB、Conveyor等，提供天车硬件系统、存储系统、跨层传输系统及配套软件MCS和MOC等全流程定制化服务。全套威廉希尔官方网站 自主可控，产品精度、稳定度、洁净度、安全性均经产线负载量产长周期验证，产品案例覆盖8寸/12寸前道制造、8/12寸先进封测，核心性能比肩海外大厂，获行业头部客户认可。

2

半导体智能制造软件系统MCS、MOC

华芯智能为客户提供全面的软件系统服务：物料管控系统（MCS）、天车调度系统（MOC）、整厂自动化仿真interwetten与威廉的赔率体系 （simulation）、智能工厂大数据平台、数字孪生等。

产品采用最新威廉希尔官方网站 架构，围绕泛半导体产线核心需求设计，运用智能算法最大程度优化交通调度及产线管控能力，提升产线运行效率，为运输、存储、故障维护提供科学精准的决策依据。产品已在客户端完成压力及可靠性验证，支持24小时快速响应。

3

晶圆搬运自动化设备EFEM、Sorter、Load Port

华芯智能致力于为客户提供从部件到系统的标准及非标晶圆搬运解决方案，提供Sorter、EFEM等晶圆搬运自动化设备及抓手、aligner等零部件，同时提供如Embedded sorter等特殊工艺环节定制产品，可处理各种特殊硅片（穿孔、超薄、翘曲）及碳化硅晶圆，提供接触式和非接触式等多种传输方案。

▸定制设计：模块化设计，软件支持参数化配置，支持标准及非标自动化定制；

▸性能优异：高精度、高安全性和高可靠性；

▸交期快：性价比及交期显著优于海外供应商；

▸全流程专业服务：专业威廉希尔官方网站 团队，快速响应客户需求。

4

AMHS立体仓储库-STOCKER

Stocker为半导体工厂晶圆立体仓储库，主要用于12寸及8寸晶圆料盒自动搬送、存储及管理。

▸安全设计：具备可靠的安全设计和碰撞保护功能，保护晶圆和人身安全；

▸定制化方案：可定制功能和尺寸，提供NTB和OHB等多种缓存方案，提升FAB物料流转效率和空间利用率；

▸严格品质管控：已取得ISO质量管理体系认证和SEMI认证，已在头部客户端完成验证，产品质量稳定领先。

AMHS作为半导体智能制造的重要一环，正在实现半导体供应链自主化这一复杂而充满挑战的深层变革。此次SEMI-e 第六届深圳国际半导体展集结了一批半导体智能制造企业，华芯智能作为其中的一员，与更多志同道合企业持续聚焦智能制造，不断突破威廉希尔官方网站 创新范畴，实现共同进步。

审核编辑：刘清