全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电晶圆下线

3月 4 日，湖北九峰山实验室正式宣布，于2024年2月20日，全球首块8英寸硅光膜铌酸锂光电集成晶圆在其实验室成功下线。

这项创新颠覆了传统，将8英寸SOI硅光晶圆与8英寸铌酸锂晶圆进行键合并构建光电收发功能，确立了当前世界领先的硅基化合物光电集成威廉希尔官方网站 地位。同时，也使得新型光芯片得以大规模生产，展现出难以想象的超低损耗和高带宽，突出了其无可匹敌的综合性能。

实验室负责人透露，此项成果旨在助力迅速推动产业商业化进程。

由于出色的性能，薄膜铌酸锂在诸如滤波器、光通讯、量子通信以及航空航天等多个领域都发挥了关键角色。然而，大尺寸铌酸锂晶体圆片制备过程中的难题，以及其微纳加工威廉希尔官方网站 一直是业界面临的挑战。因此，虽然薄膜铌酸锂已在铌酸锂 eldest工制领域占据了一定分量，但大部分研究仍围绕3英寸、4英寸和6英寸晶片及其上的微纳加工工艺展开。

借助8英寸薄膜铌酸锂晶圆的优势，九峰山实验室打造了适合其的深紫外线（DUV）光刻、微纳干法刻蚀及薄膜金属工艺，最终研制出首款8英寸硅光薄膜铌酸锂晶圆。通过搭载这台强大工具，实验室不仅成功研发出低损耗铌酸锂波导、高带宽电光调制器芯片和高带宽发射器芯片，而且还提供了一种全新的薄膜铌酸锂光电芯片产业化威廉希尔官方网站 路径。

九峰山实验室表示，光子集成威廉希尔官方网站 因其在5G通信、大数据、人工智能等领域的广泛应用而备受瞩目。考虑到铌酸锂具有大透明窗口、低传输损耗、优异的光电/压电/非线性等特性以及卓越的机械稳定性，它被誉为完美的光子集成材料；特别是单晶薄膜铌酸锂，为解决光子集成芯片领域普遍存在的低传输损耗、高密度集成以及低调制功耗问题提供了极致的解决方案。

不仅如此，随着调制速率需求的上升，薄膜铌酸锂的优越性愈加凸显，将给未来的通信威廉希尔官方网站 带来无限可能性。据QYResearch研究报告显示，全球薄膜铌酸锂调制器市场预计将于2029年达到20.431亿美元，年复合增长率高达41%。

展望未来，当我们基于铌酸锂的光源、光调制、光探测等重要元器件逐渐成熟之际，铌酸锂光子集成芯片或许能像硅基集成电路那样，跻身高速率、高容量、低能耗光学信息处理的前沿阵地，在光量子计算、大数据中心、人工智能以及光传感激光雷达等领域释放巨额的应用价值。

值得一提的是，九峰山实验室坐落于“中国光谷”——湖北省武汉市东湖新威廉希尔官方网站 开发区，并且其科研团队汇聚了来自全球10个国家的百余位顶尖科学家和威廉希尔官方网站 专才。