新年伊始,万象更新。芯明天持续深挖行业需求,攻克威廉希尔官方网站 壁垒,推陈出新,为客户解决一个又一个精密定位威廉希尔官方网站 的难题。
本次为大家介绍一款一维大负载电容传感压电纳米定位台-XD605.X90。产品外观如下图所示。
X向运动、大负载
XD605.X90可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm,负载可达10kg,分辨率可达3nm,为大负载应用提供更优质的解决方案。
电容式传感器
XD605.X90闭环版本采用电容传感,闭环线性度可达0.021%F.S.,闭环重复定位精度可达0.005%F.S.,由于电容式传感器是根据两个电极之间的电容变化来测量物理量,所以它不受温度、磁场环境等因素影响,在精度、响应速度、稳定性、可靠性和成本方面具有很多优势。
三种位姿、易使用
XD605.X90它在使用放置方式上进行突破,可正立、侧卧、倒置三种位置使用,可满足更多设备或系统对负载位姿的要求。
产品应用
显微扫描、光路调整、纳米操控威廉希尔官方网站 、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。
威廉希尔官方网站 参数
型号 | XD605.X90C/K |
运动自由度 | X |
驱动控制 | 1路驱动,1路电容传感 |
标称行程范围(0~120V) | 76μm |
行程范围(0~150V) | 95μm |
传感器 | CAP/- |
分辨率 | 3nm |
闭环线性度 | 0.02%F.S./- |
闭环重复定位精度 | 0.005%F.S./- |
俯仰 | <5μrad |
偏航 | <5μrad |
滚动 | <5μrad |
空载谐振频率 | 615Hz |
带载谐振频率@5kg | 310Hz |
闭环阶跃时间@5kg | 8ms@20μm |
承载能力 | 正立10kg |
卧式5kg | |
倒置10kg | |
静电容量 | 37μF |
材质 | 铝合金 |
重量(含线) | 5.7kg |
配套控制器
E53.D1C-H系列压电控制器是一款interwetten与威廉的赔率体系 与数字式控制器,具有闭环伺服控制功能,是专为驱动配备电容式传感器的压电产品而研发设计。外形尺寸为148×125×27.5mm,供电为24VDC/1.5A。机身带有散热区域,可快速导出产生的热量,且体积小巧,易于集成。
XD605.X90C电容式压电平台与E53.D1C-H电容闭环压电控制器
审核编辑 黄宇
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