高精度纳米级压电位移平台“PIEZOCONCEPT”！

高精度纳米级压电位移平台“PIEZOCONCEPT”

半导体界后摩尔时代的手术刀！

第三代半导体是后摩尔时代实现芯片性能突破的核心威廉希尔官方网站 之一，优越性能和广泛的下游应用使相关厂商存在良好发展前景。

昊量光电推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度纳米级压电位移平台系列产品，它的产品犹如一把手术刀，具备精确、锋利、专业、值得信任的特点；它代表着高精度、高稳定性、高响应速度、高抗疲劳性。

下面对“PIEZOCONCEPT”产品进行详细的介绍：

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PIEZOCONCEPT单轴位移平台

PIEZOCONCEPT单轴位移平台产品是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜。

X轴产品图片

Z轴产品图片

一维扫描平台

一维快反镜

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PIEZOCONCEPT两轴位移平台

两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转，主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜。

XY轴压电平台

二维快反镜

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PIEZOCONCEPT三轴位移平台

XYZ轴压电平台

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PIEZOCONCEPT位移台独特优势

昊量光电推出“PIEZOCONCEPT”高精度单轴、双轴、三轴纳米级压电位移台、物镜扫描台、快反镜系列产品；该压电平台以压电陶瓷为驱动，采用了柔性铰链连接的方法，具备精确导向性、高稳定性、高抗疲劳性的特点，同时搭配高精度硅基位移传感器、16Bit高分辨率高速控制器，具有高响应速度，亚纳米级的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高线性度（0.02%），广泛应用于高精密位移领域，包括但不局限于半导体领域。

功能的独特优势包括：

亚微米级别的重复定位精度

稳定性远远优于同类产品

0-1500微米级的移动范围

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PIEZOCONCEPT使用什么类型的传感器？
为什么它优于其他传感器威廉希尔官方网站 ？

PIEZOCONCEPT使用单晶硅传感器，称为硅基位移传感器。尽管它是应变传感器大家族的一部分，但它优于其他两种常用传感器（电容式传感器和金属应变传感器）。这两种传感器与PIEZOCONCEPT单晶硅传感器相比都有明显的缺点。

电容式传感器与PIEZOCONCEPT硅基位移传感器相比，对以下方面很敏感：

气压变化：空气的介电常数取决于气压。测量将受到任何压力变化的影响。

温度变化：空气的介电常数也会随温度变化。

污染物的存在。

以上所有这些都会导致纳米级的一些不稳定性，即使可以对空气压力和温度进行校正，也不可能校正其它因素（污染物、排气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容传感器非常昂贵和笨重。硅HR传感器威廉希尔官方网站 是一种固态威廉希尔官方网站 ，它的电阻不依赖于空气压力或污染物的存在。其次，虽然温度变化对测量有影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列进行校正。基本上，PIEZOCONCEPT在每个轴上使用两个平行的硅传感器，一个用于测量，另一个用于考虑温度变化引起的材料膨胀。

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金属应变传感器与
PIEZOCONCEPT硅基位移传感器的比较。

金属应变传感器和PIEZOCONCEPT硅基位移传感器之间的差异更大。

第一个区别是应变系数：半导体应变传感器（硅基位移传感器）的应变系数大约是金属应变传感器的100倍。更高的应变系数导致更高的信噪比，最终导致更高稳定性。

第二个区别是金属应变传感器不能直接安装在挠曲装置上（也就是实现运动的地方）：金属应变传感器必须安装在某种“背衬”上，这就导致了压电致动器存在蠕变或滞后现象。由于压电致动器的膨胀不均匀，因此仅测量致动器的一部分伸长率无法精确推导其完整伸长率。硅基位移传感器是通过对挠曲本身进行测量，不存在这种“不均匀性”问题。

综上所述，硅基位移传感器在环境背景中优于电容式传感器，在信噪比和稳定性方面优于金属应变传感器。