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北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线

CHANBAEK 来源:网络整理 2024-01-09 18:17 次阅读

北方华创最近研发出了一款12英寸高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备,名为Orion Proxima,并已正式进入客户端验证阶段。这一创新标志着北方华创在绝缘介质填充工艺威廉希尔官方网站 上取得了重大突破,同时也为该公司进军12英寸介质薄膜设备领域,打开百亿级市场铺平了道路。

随着集成电路领域的飞速发展,芯片制造工艺面临着越来越大的挑战。其中,如何使用绝缘介质在各薄膜层之间进行均匀且无孔的填充,以提供有效的隔离保护,已成为亟待解决的问题。为了满足这一需求,HDPCVD设备已成为介质薄膜沉积工艺的关键设备。

北方华创的Orion Proxima设备正是针对这一挑战而设计的。其高密度的等离子体化学气相沉积威廉希尔官方网站 有望为芯片制造提供更均匀、更有效的绝缘介质填充,从而提高芯片的性能和可靠性。

此次Orion Proxima设备的成功研发和验证,不仅展示了北方华创在集成电路领域的强大研发实力,也为其在未来的市场竞争中赢得了先机。

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