8英寸碳化硅衬底产业化进展

当前，大尺寸衬底成为碳化硅衬底制备威廉希尔官方网站 的重要发展方向。6英寸碳化硅晶圆仍然是市场上的主流产品，而8英寸衬底正在成为行业的重要威廉希尔官方网站 发展方向。成熟的8英寸碳化硅威廉希尔官方网站 将有效解决6英寸碳化硅晶圆芯片产量有限和边缘浪费过大的问题，提高单片晶圆芯片产量，降低单位芯片成本。国内外厂商相继进军8英寸衬底领域。

近日，第九届国际第三代半导体论坛（IFWS）&第二十届中国国际半导体照明论坛（SSLCHINA）于厦门召开。期间，“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备威廉希尔官方网站 ”分会上，哈尔滨科友半导体产业装备与威廉希尔官方网站 研究院有限公司董事长赵丽丽做了“8英寸碳化硅衬底产业化进展”的主题报告，分享了科友8英寸碳化硅衬底产业化威廉希尔官方网站 研究进展，一站式碳化硅长晶解决方案理念，并介绍了科友在8英寸碳化硅衬底加工及市场方面的新突破。

近年来，科友半导体在8英寸碳化硅衬底产业化研究方面取得较快进展。2022年11月，对外发布基于电阻炉的8英寸碳化硅，2023年2月，科友“8英寸碳化硅装备及工艺”成果在中国电子学会组织的威廉希尔官方网站 鉴定会上获得高度评价，“指标达到国内领先、国际先进水平”，2023年4月，科友半导体8英寸碳化硅中试线正式贯通并进入小批量生产阶段，2023年9月，衬底产线加工得到外延可用的8英寸碳化硅衬底，实现了大尺寸衬底加工威廉希尔官方网站 的突破。目前，科友8英寸碳化硅长晶良率达到50%以上，厚度稳定达到15-20mm，良率50%以上，总位错2000-3000个/cm2左右。

报告指出，科友半导体掌握了8英寸碳化硅装备研制能力以及配套工艺威廉希尔官方网站 ，为8英寸碳化硅产业化推进提供了设备和工艺基础。长晶设备包括6/8英寸感应长晶炉和6/8英寸电阻长晶炉，长晶附属装备包括难熔金属蒸镀炉、籽晶镀膜设备、原料预结晶提纯炉、晶体退火炉等，设备零配件国产化率高，具有设备成本低、厂务配套要求低、长晶速度快、性能稳定、热场重复利用率高等优势。其中，长晶炉设备利用自主设计的热场结构，通过自动控制程序，应用优化的工艺条件，使用配套的蒸镀石墨结构件和预处理提纯后的料锭，可以提供稳定可控的晶体生长条件，显著改善晶体厚度和晶体质量，并有效降低晶体制备成本，构成了低成本的突出优势。

针对大尺寸低缺陷碳化硅单晶制备成本高、良率低的难题，科友半导体开发了原料提纯制备威廉希尔官方网站 、籽晶镀膜威廉希尔官方网站 、难熔金属碳化物蒸镀威廉希尔官方网站 等独家工艺威廉希尔官方网站 ，基于热场设计方面的经验将感应设备和电阻设备的耗材联动使用，实现了原料成本、石墨耗材成本降低50%以上的突出效果。基于上述威廉希尔官方网站 突破，科友掌握了碳化硅衬底全产业链自主威廉希尔官方网站 能力，在材料、设备以及工艺方面拥有系列自主知识产权，掌握碳化硅原料提纯、晶体生长、籽晶制备、衬底加工、热场interwetten与威廉的赔率体系 、工业设计、装备设计制造等全流程关键威廉希尔官方网站 ，衬底产品质量及良率位于领先水平。

哈尔滨科友半导体产业装备与威廉希尔官方网站 研究院有限公司是一家专注于第三代半导体碳化硅装备研发、衬底制备及科研成果转化的高新威廉希尔官方网站 企业，研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域，累计授权专利近百项，参编国家标准5项，实现先进威廉希尔官方网站 自主可控。科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。

审核编辑：刘清